炎炎夏季,難免大汗淋漓,身體就容易脫水,補水這個問題每個人都知道,但補水是很有講究的,補得不正確可能會帶來其他損失呢!高純水的國家標準為:GB1146.1-89至GB1146.11-89[168],目前我國高純水的標準將電子級水分為五個級別:級、級、級、級和級,該標準是參照ASTM電子級標準而制定的。高純水的水質(zhì)標準中所規(guī)定的各項指標的主要依據(jù)有:1.微電子工藝對水質(zhì)的要求;2.制水工藝的水平;3.檢測技術(shù)的現(xiàn)狀。 在高純水的生產(chǎn)過程中,水中的陰、陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換樹脂技術(shù)等去除;水中的顆粒一般可用超過濾、膜過濾等技術(shù)去除;水中的,目前國內(nèi)多采用加藥或紫外燈照射或臭氧的方法去除;水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水應用的領(lǐng)域中,水的純度直接關(guān)系到器件的性能、可靠性、閾值電壓,導致低擊穿,產(chǎn)生缺陷,還影響材料的少子壽命,因此高純水要求具有相當高的純度和精度。