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TREK645646靜電卡盤電源

2020-06-12 04:42:01  477次瀏覽 次瀏覽
價 格:面議

TREK645/646 靜電卡盤電源

TREK 645軟件驅動式靜電卡盤電源,可滿足各種要求苛刻的應用,效率及吞吐量是其它品牌產品的三倍,徹底消除了晶片粘貼及晶片爆裂的情況,能夠更好地控制顆粒物對晶片的污染。

應用

TREK64強大通用性,可用于多種特有的工具/工藝,而不需要為每種不同的工具/工藝選配一種新電源。并內置抓取晶片檢測功能(臨界值可通過程序設置):指明晶片抓取事件,由低壓正弦波產生的電容性電流,在相位A及相位B輸出上疊加合成,可被監(jiān)測但是也可通過程序設置禁用。疊加波形用于指示無晶片,有晶片,或晶片夾緊狀態(tài)。

靜電吸附驅動的材料抓取搬運;半導體晶片加工;平板及其它加工材料的非機械化轉移,材料不適合機械夾持方法的。

輸出相位

同步高壓輸出:兩個同步高壓輸出(輸出相位A及輸出相位B)幅度相同,極性與補償電壓相反。

電壓A(基準相位): 0 to ±2KV

電壓B(相位B=[-1]x 相位A):0 to ±2KV

輸出電壓范圍:0 to ±2KV DC

輸出電流范圍:0 to ±6.5mA DC 峰值容量10mA

內部控制

補償電壓(此功能可通過程序禁用):一個高達±2KV的補償電壓可同步添加到每個相位的輸出。不管A和B處的電壓和極性是什么,添加補償電壓后,補償電壓的幅值及極性同時在輸出A及B處出現。補償電壓和每個相位的輸出電壓總和不能超過±2KV。

輸出波形:每個DC輸出電壓(相位A及相位B)的高低與時間的升降對稱 ,或者可通過用戶設定的夾持及松開的波形來編輯。

輸入

設置高壓值:HV幅值可以通過設備在內部或從外部控制

設置補償電壓:補償電壓可以通過設備在內部或從外部控制

輸出電壓監(jiān)視器(背板連接器)

輸出比:1 V/200 V

相位B DC:精度優(yōu)于滿量程的2%

偏移電壓:< 10mV

輸出雜訊:< 50mV rms

穩(wěn)態(tài)電壓泄漏電流監(jiān)視器

輸出比:1V/100μA

DC 精度:±5μA

輸出雜訊:< 50mV rms

電容性負載選擇:根據系統及靜電卡盤的物理構形,卡盤抓取的電容狀態(tài)范圍可通過程序在0-10,20 或30nF(相間)間選擇。

參數

尺寸:43.7mm H x 421.6mm W x 457.3mm D

面板寬度:482.6mm

重量:3.86Kg

連接器: 15針D型ITT Canon,用于連接遠程監(jiān)控設備,9-針D型ITT Canon RS-232,3針 FCT D型 高壓,標準A型 USB,以太網(選配)及面板

PowerON/OFF電源開/關: 2位搖桿開關

運行環(huán)境

溫度: 0℃-35℃

濕度: 達85%,無結露

海拔高度:達2000m

電氣參數

DC輸入接口: 2.0mm 鎖定DC 插孔,中心觸點為正極,殼部為負極(與Switchcraft S761K 插頭連接)

接地: 接地螺栓

電源要求:24VDC,1.7A

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