實現(xiàn)潔凈度要求的通風措施
潔凈室要達到潔凈等級，必須有綜合措施，其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現(xiàn)潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言，主要有以下幾項具體措施 [1] ：
（1） 對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。因此，必須選用或亞過濾器（潔凈級別低時）作為終端過濾器，對進入潔凈室的空氣，進行后一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命，必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進行過濾。
（2） 根據(jù)潔凈室的等級，合理選擇潔凈室的氣流分布流型，在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)；盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區(qū)；氣流的流動有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風口排走。
（3） 有足夠的風量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩(wěn)定的氣流流型。
（4）不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值。
潔凈室氣流組織考慮原則
（1） 當產(chǎn)品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。
（2） 減少渦流，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。
（3） 為了防止灰塵的二次飛揚，氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風口不應(yīng)設(shè)在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風口。
（4） 工作區(qū)的氣流應(yīng)均勻，流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求；潔凈氣流應(yīng)盡可能把工作部位圍罩起來，使污染物在擴散之前便流向回風口。
（5） 工作設(shè)備布置時要留有一定的間隔，為送、回風口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件：氣流組織設(shè)計時要考慮高大設(shè)備對氣流組織的影響。
（6） 潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內(nèi)。當布置在亂流潔凈室時，宜將其置于工作區(qū)氣流的上風側(cè)，以提高室內(nèi)的空氣潔凈度。
（7） 潔凈室內(nèi)有通風柜時，宜置于工作區(qū)氣流的下風側(cè)，以減少對室內(nèi)的污染。 [2]
潔凈室是任何給定的容納空間，其中規(guī)定減少微粒污染并控制其他環(huán)境參數(shù)，例如溫度，濕度和壓力。關(guān)鍵部件是微?？諝猓℉EPA）過濾器，用于捕獲0.3微米和更大尺寸的顆粒。輸送到潔凈室的所有空氣都通過HEPA過濾器，在某些需要嚴格清潔性能的情況下，使用超低顆?？諝猓║LPA）過濾器。
選擇在潔凈室工作的人員接受污染控制理論的廣泛培訓。他們通過氣閘，空氣淋浴和/或更衣室進入和離開潔凈室，他們必須穿著特殊的衣服，以捕捉皮膚和身體自然產(chǎn)生的污染物。
根據(jù)房間的分類或功能，人員的衣服可能與實驗室外套和發(fā)網(wǎng)一樣有限，或者與多層兔子套裝完全包裹在一起，并配有自給式呼吸器。
潔凈室服裝用于防止物質(zhì)從穿著者的身體上脫落并污染環(huán)境。潔凈室衣物本身不得釋放顆?；蚶w維，以防止人員污染環(huán)境。這種類型的人員污染會降低半導體和制藥行業(yè)的產(chǎn)品性能，并且例如可能導致醫(yī)務(wù)人員和醫(yī)療保健行業(yè)的患者之間的交叉感染。
潔凈室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定，隨潔凈室用途等具體情況而異，它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響，就工業(yè)潔凈室而言，影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是：
(1)室內(nèi)污染源：建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據(jù)具體情況而異，變化很大;
(2)室內(nèi)氣流流型及分布：單向流要求均勻、平等的流線，但會受到工藝設(shè)備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層;
(3)自凈時間(恢復時間)的控制要求：潔凈室中事故釋放或帶入污染物或空氣氣流的中斷或正常操作時的間歇性對流氣流或人及設(shè)備的移動等都會造成潔凈度的惡化，恢復到原來潔凈度的自凈時間決定于氣流速度;對自凈時間的控制要求取決于此時間框架內(nèi)(惡化的潔凈度下)，對產(chǎn)品生產(chǎn)的質(zhì)量及成品率影響的承受能力;
(4)末級過濾器的效率：在一定的室內(nèi)發(fā)塵量下，可采用較率的過濾器以降低氣流速度;為節(jié)能應(yīng)考慮采用較率的過濾器，并降低氣流速度，或采用較低效率的過濾器并采用較高的氣流速度，以求流量與阻力的乘積小;
(5)經(jīng)濟性考慮：過大的氣流速度造成投資及運行費用的增加，合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合，過大往往不必要，亦不一定有效果;
(6)對潔凈度要求低的潔凈室，有時換氣次數(shù)決定于室內(nèi)排熱的要求。