石材結(jié)晶粉的使用方法如下:
首先,確保石材表面平整,這樣才能讓石材結(jié)晶粉發(fā)揮效果。
其次,濕磨工藝。作業(yè)人員將石材結(jié)晶粉加水后,按照1:6的比例調(diào)成泥漿狀,再使用石材晶面機(jī)將其研磨3-5分鐘,使用紅墊、白墊、納米墊等百潔墊配合進(jìn)行,用清水輕拋洗凈、吸水機(jī)吸干,再使用纖維墊輕拋2-3分鐘以獲得更佳效果。
這兩個(gè)概念主要出半導(dǎo)體加工過(guò)程中,初的半導(dǎo)體基片(襯底片)拋光沿用機(jī)械拋光、例如氧化鎂、氧化鋯拋光等,但是得到的晶片表面損傷是極其嚴(yán)重的。直到60年代末,一種新的拋光技術(shù)——化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)(CMP Chemical Mechanical Polishing )取代了舊的方法。CMP技術(shù)綜合了化學(xué)和機(jī)械拋光的優(yōu)勢(shì):?jiǎn)渭兊幕瘜W(xué)拋光,拋光速率較快,表面光潔度高,損傷低,平整性好,但表面平整度和平行度差,拋光后表面一致性差;單純的機(jī)械拋光表面一致性好,表面平整度高,但表面光潔度差,損傷層深?;瘜W(xué)機(jī)械拋光可以獲得較為平整的表面,又可以得到較高的拋光速率,得到的平整度比其他方法高兩個(gè)數(shù)量級(jí),是能夠?qū)崿F(xiàn)全局平面化的有效方法。
制作步驟:
依據(jù)機(jī)械加工原理、半導(dǎo)體材料工程學(xué)、物力化學(xué)多相反應(yīng)多相催化理論、表面工程學(xué)、半導(dǎo)體化學(xué)基礎(chǔ)理論等,對(duì)硅單晶片化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)機(jī)理、動(dòng)力學(xué)控制過(guò)程和影響因素研究標(biāo)明,化學(xué)機(jī)械拋光是一個(gè)復(fù)雜的多相反應(yīng),它存在著兩個(gè)動(dòng)力學(xué)過(guò)程:
(1)拋光首先使吸附在拋光布上的拋光液中的氧化劑、催化劑等與襯底片表面的硅原子在表面進(jìn)行氧化還原的動(dòng)力學(xué)過(guò)程。這是化學(xué)反應(yīng)的主體。
(2)拋光表面反應(yīng)物脫離硅單晶表面,即解吸過(guò)程使未反應(yīng)的硅單晶重新裸露出來(lái)的動(dòng)力學(xué)過(guò)程。它是控制拋光速率的另一個(gè)重要過(guò)程。
硅片的化學(xué)機(jī)械拋光過(guò)程是以化學(xué)反應(yīng)為主的機(jī)械拋光過(guò)程,要獲得質(zhì)量好的拋光片,必須使拋光過(guò)程中的化學(xué)腐蝕作用與機(jī)械磨削作用達(dá)到一種平衡。如果化學(xué)腐蝕作用大于機(jī)械拋光作用,則拋光片表面產(chǎn)生腐蝕坑、桔皮狀波紋。如果機(jī)械磨削作用大于化學(xué)腐蝕作用,則表面產(chǎn)生高損傷層。
結(jié)晶粉的使用
1、石材結(jié)晶粉使用效果的要求: 地面平整,翻新完成后使用或晶面日常保養(yǎng)。
2、取本大理石油亮型結(jié)晶粉濕磨工藝:加水調(diào)成漿狀(比例為1:6)。用石材晶面機(jī)配合百潔墊(紅墊、白墊、納米墊、獸毛墊都可以,根據(jù)石材材質(zhì)和經(jīng)濟(jì)性決定)研磨3-5分鐘后,保持地面濕潤(rùn),用清水輕拋洗凈吸水機(jī)吸干。后再用干凈纖維墊輕拋2-3分鐘效果更佳!
3、取本大理石超亮晶面粉干磨工藝:加水調(diào)成漿狀(比例為1:1)。用石材晶面機(jī)配合纖維墊研磨,磨干地面。(晶面機(jī)阻力增大時(shí)即晶面漿結(jié)晶層形成時(shí)可在地面灑幾滴水至磨干)
4、觀察地面結(jié)晶層亮度、油潤(rùn)度,可按上述方法施工二遍,可達(dá)到滿意結(jié)晶面,做翻新工程時(shí)可以直接交工。
5、地面干燥后,可用干凈塵推推塵。