混凝土、水泥地面存在著很多的由水泥水化產(chǎn)生的毛細(xì)管，空氣、水等物質(zhì)可以通過(guò)毛細(xì)管深入混凝土的內(nèi)部。水的交替凍融可以導(dǎo)致混凝土的凍融破壞。二氧化碳與混凝土中的活性鈣離子反應(yīng)生成碳酸鈣，降低混凝土的堿性，使混凝土的體積膨脹，引起破壞。其他酸性氣體和氯離子進(jìn)入混凝土內(nèi)部，腐蝕里面的鋼筋增強(qiáng)件，造成混凝土的破壞。

拋光粉的基本要求

（1）微粉粒度均勻一致，在允許的范圍之內(nèi)；顆粒的大小及均勻度決定了拋光速度和精度，過(guò)篩的篩網(wǎng)目數(shù) 能掌握粉體相對(duì)的粒度的值，平均粒度決定了拋光粉顆粒大小的整體水平。

（2）有較高的純度，不含機(jī)械雜質(zhì)。

（3）有良好的分散性和吸附性，以保證加工過(guò)程的均勻和，可適量添加LBD-1分散劑提高懸浮率；好的 拋光粉要有較好的懸浮性，粉體的形狀和粒度大小對(duì)懸浮性能具有一定的影響，納米粒徑的拋光粉的懸 浮性相對(duì)的要好一些，所以精拋一般選擇納米拋光粉。

（4）粉末顆粒有一定的晶格形態(tài)，破碎時(shí)形成銳利的尖角，以提高拋光效率；粉體的晶型是團(tuán)聚在一起的單 晶顆粒，決定了粉體的切削性、耐磨性及流動(dòng)性。粉體團(tuán)聚在一起的單晶顆粒在拋光過(guò)程中分離（破碎），使其切削性、耐磨性逐漸下降，顆粒為球型的拋光粉具有良好的切削性、耐磨性和流動(dòng)性。

（5）有合適的硬度和密度，和水有很好的浸潤(rùn)性和懸浮性，因?yàn)閽伖夥坌枰c水混合，硬度相對(duì)大的粉體具 有較快的切削效果，同時(shí)添加一些助磨劑等等也同樣能提高切削效果；不同的應(yīng)用領(lǐng)域會(huì)有很大出入，包括自身加工工藝。

光液使用方法

包括棘輪扳手、開(kāi)口扳手，批咀、套筒扳手，六角扳手，螺絲刀等，鉛錫合金、鋅合金等金屬產(chǎn)品經(jīng)過(guò)研磨以后，再使用拋光劑配合振動(dòng)研磨光飾機(jī)，滾桶式研磨光式機(jī)進(jìn)行拋光。

1、拋光劑投放量為（根據(jù)不同產(chǎn)品的大小，光飾機(jī)的大小和各公司的產(chǎn)品光亮度要求進(jìn)行適當(dāng)配置）；

2、拋光時(shí)間：根據(jù)產(chǎn)品的狀態(tài)來(lái)定；

3、拋光完成后用清水清洗一次并且烘干即可。

制作步驟：

依據(jù)機(jī)械加工原理、半導(dǎo)體材料工程學(xué)、物力化學(xué)多相反應(yīng)多相催化理論、表面工程學(xué)、半導(dǎo)體化學(xué)基礎(chǔ)理論等，對(duì)硅單晶片化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）機(jī)理、動(dòng)力學(xué)控制過(guò)程和影響因素研究標(biāo)明，化學(xué)機(jī)械拋光是一個(gè)復(fù)雜的多相反應(yīng)，它存在著兩個(gè)動(dòng)力學(xué)過(guò)程：

（1）拋光首先使吸附在拋光布上的拋光液中的氧化劑、催化劑等與襯底片表面的硅原子在表面進(jìn)行氧化還原的動(dòng)力學(xué)過(guò)程。這是化學(xué)反應(yīng)的主體。

（2）拋光表面反應(yīng)物脫離硅單晶表面，即解吸過(guò)程使未反應(yīng)的硅單晶重新裸露出來(lái)的動(dòng)力學(xué)過(guò)程。它是控制拋光速率的另一個(gè)重要過(guò)程。

硅片的化學(xué)機(jī)械拋光過(guò)程是以化學(xué)反應(yīng)為主的機(jī)械拋光過(guò)程，要獲得質(zhì)量好的拋光片，必須使拋光過(guò)程中的化學(xué)腐蝕作用與機(jī)械磨削作用達(dá)到一種平衡。如果化學(xué)腐蝕作用大于機(jī)械拋光作用，則拋光片表面產(chǎn)生腐蝕坑、桔皮狀波紋。如果機(jī)械磨削作用大于化學(xué)腐蝕作用，則表面產(chǎn)生高損傷層。