潔凈車間潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性，是檢驗潔凈室質(zhì)量的核心標準，該標準根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素，分為若干等級，常用的有國際標準和國內(nèi)區(qū)域行業(yè)標準，一些知名凈化工程公司，在通行標準之外，還設有自身執(zhí)行的高于國際化通行標準的凈化指標，凈化能力和環(huán)境適應力遠超國際品牌。

潔凈技術，即玷污控制(Contamination Control)技術。指的是：對象(產(chǎn)品、人及動物)在被加工、處置、、防護及實驗等過程中，對其所處環(huán)境內(nèi)玷污物(影響對象的加工、處置、等質(zhì)量、合格率或成功率的物質(zhì))進行控制的技術。 玷污物的污染包含對產(chǎn)品的損害和對人的危害。 污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。 人是污染源的發(fā)源地：靜坐時，人體每分鐘散發(fā)10萬個粒子(粒≥0.5μm); 每天脫落6～13克表皮細胞，一年脫落人體細胞約3.5公斤。 半導體潔凈室內(nèi)微污染來源，經(jīng)測試，作業(yè)人員占80% 。

通過對較大固體、粉塵顆粒在前段進行徹底的攔截，大大地減輕了后端多級過濾的壓力。二次過濾氣相攔截：高壓碰撞離心分離攔截液相霧氣。 高壓碰撞技術：氣溶膠 粒子被粗效過濾件收集，細小的顆粒有逐級濾材完成。

車間凈化工作原理為當控制器接通電源時，油霧分離器口產(chǎn)生強大的靜壓迫使油霧被定向吸入油霧分離器內(nèi)。在油霧分離器內(nèi)風輪的作用下發(fā)生碰撞，使微小的顆粒集合成能被控制的小顆粒，在吸霧材料的阻擋下實現(xiàn)空氣與水的分離。