潔凈技術,即玷污控制(Contamination Control)技術。指的是:對象(產(chǎn)品、人及動物)在被加工、處置、、防護及實驗等過程中,對其所處環(huán)境內(nèi)玷污物(影響對象的加工、處置、等質(zhì)量、合格率或成功率的物質(zhì))進行控制的技術。 玷污物的污染包含對產(chǎn)品的損害和對人的危害。 污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。 人是污染源的發(fā)源地:靜坐時,人體每分鐘散發(fā)10萬個粒子(?!?.5μm); 每天脫落6~13克表皮細胞,一年脫落人體細胞約3.5公斤。 半導體潔凈室內(nèi)微污染來源,經(jīng)測試,作業(yè)人員占80% 。
凈化車間竣工驗收相關文件:主要材料、設備和調(diào)節(jié)裝置、自動控制系統(tǒng)等出廠合格證書或檢驗文件;各項工程質(zhì)量檢驗評定表;凈化車間設計文件、設計變更說明及有關協(xié)議、竣工圖;凈化車間里面各種設備性能指標記錄;開工、竣工報告、土建隱蔽工程系統(tǒng)、管線隱蔽工程系統(tǒng)封閉記錄、管道系統(tǒng)吹洗記錄、設備開箱記錄、管道壓力試驗記錄、風管檢漏記錄、中間驗收單和竣工驗收單。
吸附性過濾—活性炭活性炭是一種多孔性的含炭物質(zhì), 它具有高度發(fā)達的孔隙構(gòu)造, 活性炭的多孔結(jié)構(gòu)為其提供了大量的表面積,能與氣體(雜質(zhì))充分接觸,從而賦予了活性炭所特有的吸附性能,使其非常容易達到吸收收集雜質(zhì)的目的。就象磁力一樣,所有的分子之間都具有相互引力。
凈化參數(shù) 換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;