為了制備合乎器件和集成電路制作要求的硅片表面，必須進(jìn)行拋光，以除去殘留的損傷層并獲得一定厚度的高平整度的鏡面硅片。拋光分機(jī)械拋光、化學(xué)拋光、電子束拋光、離子束拋光，較普遍采用的是化學(xué)機(jī)械拋光?；瘜W(xué)機(jī)械拋光是化學(xué)腐蝕和機(jī)械磨削同時(shí)進(jìn)行，分為銅離子拋光、鉻離子拋光和普遍采用的二氧化硅膠體拋光。二氧化硅膠體拋光是由極細(xì)的二氧化硅粉、氫氧化鈉（或有機(jī)堿）和水配制成膠體拋光液。在拋光過(guò)程中，氫氧化鈉與硅表面反應(yīng)生成硅酸鈉，通過(guò)與二氧化硅膠體的磨削，硅酸鈉進(jìn)入拋光液，兩個(gè)過(guò)程不停頓地同時(shí)進(jìn)行而達(dá)到拋光的目的。根據(jù)不同要求，可用一次拋光、二次拋光(粗拋光和精拋光)或三次拋光（粗拋光、中間拋光和精拋光）。為滿(mǎn)足超大規(guī)模集成電路對(duì)表面質(zhì)量和平整度的要求，已有無(wú)蠟拋光和無(wú)磨料拋光等新工藝。
廢硅片回收拋光片檢測(cè)
包括目檢、幾何尺寸檢測(cè)和熱氧化層錯(cuò)檢測(cè)等。目檢是在正面高強(qiáng)度光或大面積散射光照射下目測(cè)拋光片上的原生缺陷和二次缺陷。這些缺陷包括邊緣碎裂、沾污、裂紋、弧坑、鴉爪、波紋、槽、霧、嵌入磨料顆粒、小丘、桔皮、淺坑、劃道、亮點(diǎn)、退刀痕和雜質(zhì)條紋等。幾何尺寸的檢測(cè)包括硅片的厚度、總厚度變化、彎曲度和平整度的檢測(cè)。厚度為硅片中心上、下表面兩個(gè)對(duì)應(yīng)點(diǎn)之間的距離；總厚度變化為同一硅片上厚度值與小值之差；彎曲度為硅片的中線(xiàn)面與參考平面之間距離的值與小值之差；平整度指硅片表面上點(diǎn)與點(diǎn)的高度差，用總指示讀數(shù)表征。硅片的熱氧化層錯(cuò)檢測(cè)是指硅拋光片表面的機(jī)械損傷、雜質(zhì)沾污和微缺陷等在硅片熱氧化過(guò)程中均會(huì)產(chǎn)生熱氧化層錯(cuò)，經(jīng)擇優(yōu)腐蝕后，在金相顯微鏡下觀測(cè)熱氧化層錯(cuò)的密度，以此鑒定硅片表面的質(zhì)量。
硅片制成的芯片是有名的神算子，有著驚人的運(yùn)算才能。無(wú)論多么雜亂的數(shù)學(xué)疑問(wèn)、物理疑問(wèn)和工程疑問(wèn)，也無(wú)論核算的工作量有多大，工作人員只需經(jīng)過(guò)核算機(jī)鍵盤(pán)把疑問(wèn)通知它，并下達(dá)解題的思路和指令，核算機(jī)就能在極短的時(shí)間內(nèi)把答案通知你。這樣，那些人工核算需求花費(fèi)數(shù)年、數(shù)十年時(shí)間的疑問(wèn)，核算機(jī)能夠只需求幾分鐘就能夠處理。乃至有些人力無(wú)法核算出成果的疑問(wèn)，核算機(jī)也能很快通知你答案。微電子技能在航空航天、國(guó)防和工業(yè)主動(dòng)化中的無(wú)比威力更是眾所皆知的現(xiàn)實(shí)。
在大型電子核算機(jī)的操控下，無(wú)人飛機(jī)能夠自由地在藍(lán)天翱翔；人造衛(wèi)星、宇宙飛船、航天飛機(jī)能夠升空、飛翔、定位，并主動(dòng)向地上發(fā)回各種信息。在電子核算機(jī)的指揮下，火炮、導(dǎo)彈能夠百發(fā)百中，擊中方針，乃至能夠擊中空中疾速移動(dòng)方針，包含敵方正在飛翔中的導(dǎo)彈。工業(yè)中廣泛運(yùn)用核算機(jī)和各種傳感技能，能夠節(jié)約人力，進(jìn)步主動(dòng)化程度及加工精度，大大進(jìn)步勞動(dòng)生產(chǎn)功率。機(jī)器人已在許多工業(yè)范疇中呈現(xiàn)。更多相關(guān)產(chǎn)品金屬鎵，銦箔。
1、高純硅料回收 這是硅行業(yè)內(nèi)的一種產(chǎn)品分類(lèi),主要是指含硅量比較高的硅材料。具體包括：高純石英砂、高純石英粉、打砣砂、光纖硅料、合成硅料、精細(xì)硅料等等。
2、天然硅料回收 這是硅行業(yè)內(nèi)的一種產(chǎn)品分類(lèi)，天然硅料指在自然界中天然形成的，未經(jīng)深加工的硅原料。具體包括：石英礦石、石英礦砂、石英礦粉；工業(yè)水晶礦、工藝水晶礦、寶石級(jí)水晶礦；鑄造砂；長(zhǎng)石；硅藻土、硅灰石、硅灰石膏、花園硅料、日用硅料等。
3、工業(yè)硅料回收 是指在工業(yè)生產(chǎn)中有廣泛用途的硅產(chǎn)品，主要包括：硅鐵、金屬硅、硅錳、硅鋁、鋇錳鈦鐵、硅錳釩鐵、硅鋁鋇鐵、硅鋁鐵、硅鈣、硅鋼板、鋁硅合金、鎳鉻－鎳硅熱電偶絲、錳硅合金、稀土硅鈣鋇、硅鈣合金、硅鋇合金、硅鉻合金、鎂硅合金、鍺硅合金、硅鈷、硅青銅、鐵硅合金、鋅硅合金、硅鈦鐵合金、鎳硅合金、鋁鎂、硅合金、銅硅合金等等。