濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產佳溫度范圍為35—45。

無塵室的構成是由下列各項系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無法構成一完整且品質良好的無塵室：

⑴天花板系統(tǒng)

包括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。

⑵空調系統(tǒng)

包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等。

⑶隔墻板（Partitional wall)

包括窗戶、門。

⑷地板

包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。

⑸照明器具

包括日光燈、黃色燈管等。

⑹無塵室之建筑主體構造

一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，滿足如下之條件：

A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕；

B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子；

C.吸濕性小；

D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高。

潔凈室的清掃、。

1.潔凈室的清掃一般須在生產工藝結束后進行;如有必要在生產前清掃，則工藝生產在凈化空調系統(tǒng)開機運行時間達到潔凈要求后方可開始進行。為防止交叉污染，清掃潔凈廠房設施均應按產品特點、工序要求、潔凈度等級不同分別專用。

清掃工具一般采用集中固定式和便攜移動式真空清掃設備。如不具備上述條件，也可采用不掉纖維的材料如絲光毛巾、尼龍布進行擦拭，一般每天1次或數次。

工作臺及工器具清掃一般每天一次;10～1000級廠房墻壁、地面清掃，一般每周一次，1萬～10萬級每月一次。凈化空調系統(tǒng)每年宜清洗1～2次，并委托專門清掃人員進行。

無塵車間風管安裝就位的程序通常為先上層后下層，先主干管后支管，先立管后水平管。就位時應注意，例如：采用吊裝組對無塵車間風管時，應加強表面的保護，注意吊點受力，保證吊裝穩(wěn)定、和無塵車間風管不產生扭曲、彎曲變形等，必要時應采取防止變形的措施。