濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55時(shí)，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

潔凈室內(nèi)靜電導(dǎo)致的事故有以下幾方面；

1．靜電電引起的靜電電擊，引起人和恐懼感，并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒，由摔倒又致傷)；

2-靜電放電引起的放電電流，可導(dǎo)致諸如半導(dǎo)體元件等破壞和誤動(dòng)作，例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內(nèi)，搖晃數(shù)次后，與非門柵嚴(yán)重?fù)舸┱哂?jì)39塊，失效率競達(dá)78，這是因?yàn)榘雽?dǎo)體器件對靜電放電十分靈敏；

3．靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導(dǎo)致電子儀器和裝置的雜音和誤動(dòng)作；

4．靜電放電的發(fā)光可導(dǎo)致照像肢片等感光破壞；

5．靜電的力學(xué)現(xiàn)象可導(dǎo)致篩孔被粉塵堵塞，紡紗線紛亂，印刷品深淺不均和制品污染；凈化工程

6．靜電放電引起的危險(xiǎn)的災(zāi)害是成為可燃物的火源井引起爆炸，例如國外文獻(xiàn)統(tǒng)計(jì)，在手術(shù)室使用爆炸性麻醉劑的86000次中，爆炸的36次，其中由靜電引起的達(dá)21次。

煙氣熱量容易積聚。無塵車間一般呈密閉狀態(tài)，門窗少，發(fā)生火災(zāi)時(shí)，煙氣熱量不易向外散出，火源的熱幅射經(jīng)四壁反射室內(nèi)迅速升溫，同時(shí)造成煙氣滯留，熱量劇增，大大縮短室內(nèi)各部位材料選到燃點(diǎn)的時(shí)間。煙霧毒性大。無塵車間內(nèi)裝修中使用了一些高分子合成材料，這些材料在發(fā)生燃燒時(shí)會產(chǎn)生大量濃煙，散發(fā)毒氣，給人員逃生和消防人員救火帶來很大的威脅。

無塵車間風(fēng)管穿過需要封閉的防火防爆樓板或墻體是采取的措施。應(yīng)設(shè)鋼板厚度不小于1.6mm的預(yù)埋管或防護(hù)套管，無塵車間風(fēng)管與防護(hù)套管之間應(yīng)采用不燃柔性材料封堵。無塵車間風(fēng)管穿越建筑物變形縫空間時(shí)，應(yīng)設(shè)置柔性短管，無塵車間風(fēng)管穿越建筑物變形縫墻體時(shí)，應(yīng)設(shè)置鋼制套管，無塵車間風(fēng)管與套管之間應(yīng)采用柔性防水材料填充密實(shí)。