潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

潔凈室內靜電導致的事故有以下幾方面；

1．靜電電引起的靜電電擊，引起人和恐懼感，并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒，由摔倒又致傷)；

2-靜電放電引起的放電電流，可導致諸如半導體元件等破壞和誤動作，例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內，搖晃數次后，與非門柵嚴重擊穿者計39塊，失效率競達78，這是因為半導體器件對靜電放電十分靈敏；

3．靜電放電產生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動作；

4．靜電放電的發(fā)光可導致照像肢片等感光破壞；

5．靜電的力學現象可導致篩孔被粉塵堵塞，紡紗線紛亂，印刷品深淺不均和制品污染；凈化工程

6．靜電放電引起的危險的災害是成為可燃物的火源井引起爆炸，例如國外文獻統(tǒng)計，在手術室使用爆炸性麻醉劑的86000次中，爆炸的36次，其中由靜電引起的達21次。

進出潔凈室的管理

⒈進入潔凈室的人員應嚴格要求執(zhí)行人身凈化制度、路線和順 序。退出潔凈室時，按如上順序、路線進行，不允許將潔凈用品帶至門廳。

⒉若有吹淋室，按規(guī)定進行吹淋后,方可進入潔凈室內。同時，嚴格按照風淋室的規(guī)格和使用要求，控制每次進入風淋室風淋的人數，不允許正在風淋室強行關閉運行風機或電源。一般經過風淋，人身表面散發(fā)的灰塵粒子數減少40—60 。

⒊為不干擾室內的潔凈氣流型式，在作業(yè)區(qū)側不應放置物品，回風口附近不要堆放物;送風孔板下不應堵塞和堆放物品，生產操作應在潔凈工作臺或氣流的上游進行。

⒋不允許將與生產無關的和容易產塵的物品帶入潔凈室內。

⒌嚴禁在潔凈室內吸煙、飲食和進行非生產性活動。

⒍進入潔凈室前，個人物品須放入指定的柜子，去掉化妝和首飾，換上指定的潔凈服、鞋。

⒎戴帽時，應將頭發(fā)全部遮住，鞋套應將褲腳下擺緊緊裹在鞋套。

⒏脫潔凈工作服時，要避免工作服觸及地面、桌子與其它物品，一般要由下至上脫去工作服，并存放在柜內或掛在規(guī)定的處所。

⒐退出潔凈室時，在更衣區(qū)前不允許脫掉潔凈工作服;脫去工作服后若再進入潔凈室內，仍需按進入潔凈室的規(guī)定順序進行。

⒑退出潔凈室時，可以不需要經過空氣吹淋而進入更換區(qū)域。

無塵車間風管的組對、連接長度應根據現場的施工現場的情況和吊裝設備而進行確定。無塵車間風管連接采用的密封材料應滿足系統(tǒng)功能的技術條件。

例如，防、排煙系統(tǒng)或輸送溫度高于70℃的空氣或煙氣的無塵車間，應采用耐熱橡膠板或不燃的耐溫、防火材料；輸送含有腐蝕介質的氣體，應采用耐酸橡膠板或軟聚氯乙烯板。