濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對濕度在50時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

潔凈室中的防靜電潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生，因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評(píng)價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)不可忽視的方面。所謂靜電，是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負(fù)靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累，而氣流的流動(dòng)，氣流和管道、風(fēng)口、過濾器等摩擦，人體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作，所有選些都可能產(chǎn)生靜電，在一般情況下，越是電導(dǎo)率小的非導(dǎo)體（絕緣體），由于電荷產(chǎn)生后不易流動(dòng)，因此表現(xiàn)為越容易帶電。

無塵室與擴(kuò)散的效果類似，當(dāng)過濾材料帶靜電時(shí)，粉塵在濾材中滯留的時(shí)間越長，被材料吸附的可能性就越大，改變風(fēng)速，帶靜電材料的過濾效率會(huì)明顯改變，如果你材料上有靜電，進(jìn)行空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)就應(yīng)該盡可能地減少通過每只過濾器的風(fēng)量。

對于以慣性機(jī)理為主的大顆粒粉塵，根據(jù)傳統(tǒng)理論，風(fēng)速降低后，粉塵與纖維碰撞的幾率會(huì)減少，過濾效率會(huì)隨之降低，但在實(shí)踐中這種影響并不明顯，因?yàn)轱L(fēng)速小了，纖維對粉塵的反彈力也小了，粉塵更容易被粘住。