靜電事故的產生主要在于靜電的產生和積累,而氣流的流動,氣流和管道、風口、過濾器等摩擦,人體和衣服的摩擦,衣服之間的摩擦,工藝上的研磨,噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作,所有選些都可能產生靜電,在一般情況下,越是電導率小的非導體(絕緣體),由于電荷產生后不易流動,因此表現(xiàn)為越容易帶電。
靜電問題所以在潔凈室中特別嚴重,是因為不但在潔凈室中具備前述產生靜電的多種工藝因素,而且因為潔凈室中的許多材料如塑料地面、墻面,尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率,都易產生靜電和集聚靜電,在潔凈室的靜電災害未被重視以前,這些材料料是被廣泛采用的。
無塵室的構成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無法構成一完整且品質良好的無塵室:
⑴天花板系統(tǒng)
包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
⑵空調系統(tǒng)
包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等。
⑶隔墻板(Partitional wall)
包括窗戶、門。
⑷地板
包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。
⑸照明器具
包括日光燈、黃色燈管等。
⑹無塵室之建筑主體構造
一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構造,滿足如下之條件:
A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕;
B.不易產生微塵粒子,且很難附著粒子;
C.吸濕性小;
D.為了維持室內之濕度條件,熱絕緣性要高。
無塵車間風管穿過需要封閉的防火防爆樓板或墻體是采取的措施。應設鋼板厚度不小于1.6mm的預埋管或防護套管,無塵車間風管與防護套管之間應采用不燃柔性材料封堵。無塵車間風管穿越建筑物變形縫空間時,應設置柔性短管,無塵車間風管穿越建筑物變形縫墻體時,應設置鋼制套管,無塵車間風管與套管之間應采用柔性防水材料填充密實。