濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累，而氣流的流動，氣流和管道、風口、過濾器等摩擦，人體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作，所有選些都可能產(chǎn)生靜電，在一般情況下，越是電導率小的非導體（絕緣體），由于電荷產(chǎn)生后不易流動，因此表現(xiàn)為越容易帶電。

無塵室的構成是由下列各項系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無法構成一完整且品質(zhì)良好的無塵室：

⑴天花板系統(tǒng)

包括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。

⑵空調(diào)系統(tǒng)

包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等。

⑶隔墻板（Partitional wall)

包括窗戶、門。

⑷地板

包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。

⑸照明器具

包括日光燈、黃色燈管等。

⑹無塵室之建筑主體構造

一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，滿足如下之條件：

A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕；

B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；

C.吸濕性小；

D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高。

潔凈室

對生物潔凈室，除對送入潔凈室的空氣中的生物或非生物微粒數(shù)要受到控制，還要對室內(nèi)器具、地面、墻面、壁板等表面進行處理。空氣潔凈技術不能殺滅，生物潔凈室運行管理中采取、措施，減少微生物在潔凈室中的生存、繁衍。

目前，傳統(tǒng)方法為：紫外線、藥劑、加熱和臭氧法。它們可靠性都很好，應用為廣泛。

另外，整個被的潔凈室應通過送回風管形成循環(huán)狀態(tài)，每天開機做空氣1—1.5小時;若需對潔凈室墻體、地面和設備等表面進行則需2小時左右。