潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿(mǎn)足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。

具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。

濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

無(wú)塵室在絕大多數(shù)情況下，運(yùn)行中風(fēng)速越低，過(guò)濾器的使用效果越好。主要是因?yàn)樾×椒鄣臄U(kuò)散作用明顯，風(fēng)速低了，氣流在過(guò)濾材料中滯留的時(shí)間就長(zhǎng)一些，粉塵就有更多的機(jī)會(huì)撞擊障礙物，因此過(guò)濾效率就高，經(jīng)驗(yàn)表明，對(duì)于過(guò)濾器，風(fēng)速減少一半，粉塵的透過(guò)率會(huì)降低近一個(gè)數(shù)量級(jí)，風(fēng)速增加一倍，透過(guò)率會(huì)增加一個(gè)數(shù)量級(jí)。

無(wú)塵車(chē)間風(fēng)管的組對(duì)、連接長(zhǎng)度應(yīng)根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)的施工現(xiàn)場(chǎng)的情況和吊裝設(shè)備而進(jìn)行確定。無(wú)塵車(chē)間風(fēng)管連接采用的密封材料應(yīng)滿(mǎn)足系統(tǒng)功能的技術(shù)條件。

例如，防、排煙系統(tǒng)或輸送溫度高于70℃的空氣或煙氣的無(wú)塵車(chē)間，應(yīng)采用耐熱橡膠板或不燃的耐溫、防火材料；輸送含有腐蝕介質(zhì)的氣體，應(yīng)采用耐酸橡膠板或軟聚氯乙烯板。