東莞市智捷環(huán)保低溫等離子體中的化學(xué)反應(yīng)主要是通過氣體放電產(chǎn)生的快電子激發(fā)來完成的。這些快電子與氣體分子碰撞，使氣體分子激發(fā)到更高的能級。被激發(fā)到高能級的分子，由于其內(nèi)能的增加，既可發(fā)生鍵的斷裂也可以與其它物種發(fā)生化學(xué)反應(yīng)；而由于碰撞失去部分能量的電子在電場的作用下仍可得到補償。典型的反應(yīng)類型如下：

可以看出，低溫非平衡態(tài)等離子體是使分子活化的有效方法，它能使幾乎所有的分子激發(fā)、電離和自由基化，產(chǎn)生大量的活性基團，如O、OH、O2,O3和高能量的自由電子。這些活性物種使得在通常條件下難以實現(xiàn)的反應(yīng)可以很容易地在等離子體系統(tǒng)中完成。尤其對空氣中污染物的脫除，可以在很短的時間內(nèi)使其分解甚至完全分解。研究表明，等離子體分解空氣污染物可通過兩種途徑完成：

（1）在產(chǎn)生等離子體的過程中產(chǎn)生的瞬間高能量，打開某些有害分子的化學(xué)鍵，使其分解成單質(zhì)原子或無害分子。

（2）等離子體中包含了大量的高能電子、離子、激發(fā)態(tài)粒子（其能量范圍如表 1）和具有強氧化活性的自由基，這些活性粒子的平均能量高于氣體分子的鍵能，它們和有害氣體分子發(fā)生頻繁的碰撞，打開氣體分子的化學(xué)鍵，同時產(chǎn)生的大量?OH、HO2、O等自由基和氧化性極強的 O3 跟有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成無害產(chǎn)物。