在無(wú)菌車間中,使空間內(nèi)達(dá)到無(wú)菌要求,就是室內(nèi)環(huán)境控制的重點(diǎn)。控制微生物的生長(zhǎng)、殺滅或去除微生物的方法通常有兩種,一種為化學(xué)類,另一種為物理類。其中,化學(xué)方法有化學(xué)劑、氣化雙氧水、臭氧和環(huán)氧乙烷等;物理方法有濕熱或干熱、輻射和過(guò)濾等。
無(wú)菌潔凈車間的內(nèi)部裝修要求房間圍護(hù)結(jié)構(gòu)的空氣密封性好,房?jī)?nèi)無(wú)衛(wèi)生死角,裝修材料表面光潔但不反光、耐壓力而不起塵、易于清潔、不易發(fā)生霉變和長(zhǎng)菌、能夠適應(yīng)各種劑和氣體熏蒸的腐蝕和紫外線照射。凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無(wú)塵車間主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無(wú)塵車間。
無(wú)塵無(wú)菌車間內(nèi)空氣的流動(dòng)有兩種情況:一種是層流的(即室內(nèi)一切懸浮粒子都保持在層流層中運(yùn)動(dòng));另一種是非層流的(即室內(nèi)空氣的流動(dòng)是紊流的)。裝有一般空調(diào)系統(tǒng)的潔凈室,室內(nèi)空氣的流動(dòng)屬于非層流(紊流),既可使空氣中夾帶的混懸粒子迅速混合,也可使室內(nèi)靜止的微粒重新飛揚(yáng),部分空氣還可出現(xiàn)停滯狀態(tài)。