在無(wú)菌車(chē)間中,使空間內(nèi)達(dá)到無(wú)菌要求,就是室內(nèi)環(huán)境控制的重點(diǎn)??刂莆⑸锏纳L(zhǎng)、殺滅或去除微生物的方法通常有兩種,一種為化學(xué)類(lèi),另一種為物理類(lèi)。其中,化學(xué)方法有化學(xué)劑、氣化雙氧水、臭氧和環(huán)氧乙烷等;物理方法有濕熱或干熱、輻射和過(guò)濾等。
無(wú)塵無(wú)菌車(chē)間是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。
不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無(wú)塵車(chē)間主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為無(wú)塵車(chē)間。
無(wú)塵無(wú)菌車(chē)間一般是在微生物實(shí)驗(yàn)室內(nèi)專(zhuān)辟一個(gè)小房間??梢杂冒宀暮筒AЫㄔ?。面積不宜過(guò)大,約4 ~5 平方米即可,高2.5 米左右。無(wú)菌室外要設(shè)一個(gè)緩沖間,緩沖間的門(mén)和無(wú)菌室的門(mén)不要朝向同一方向,以免氣流帶進(jìn)雜菌。無(wú)塵無(wú)菌車(chē)間和緩沖間都必須密閉。室內(nèi)裝備的換氣設(shè)備必須有空氣過(guò)濾裝置。