拋光液是一種不含任何硫、磷、氯添加劑的水溶性拋光劑,拋光液具有良好的去油污,防銹,清洗和增光性能,并能使金屬制品顯露出真實的金屬光澤。性能穩(wěn)定、,對環(huán)境無污染等優(yōu)點。
氧化硅拋光液 氧化硅拋光液(CMP拋光液)是以高純硅粉為原料,經特殊工藝生產的一種高純度低金屬離子型拋光產品。 廣泛用于多種材料納米級的高平坦化拋光,如:硅晶圓片、鍺片、化合物半導體材料砷化鎵、磷化銦,精密光學器件、藍寶石片等的拋光加工。
拋光首先使吸附在拋光布上的拋光液中的氧化劑、催化劑等與襯底片表面的硅原子在表面進行氧化還原的動力學過程。這是化學反應的主體。 拋光表面反應物脫離硅單晶表面,即解吸過程使未反應的硅單晶重新裸露出來的動力學過程。它是控制拋光速率的另一個重要過程。
多晶金剛石拋光液 多晶金剛石拋光液以多晶金剛石微粉為主要成分,配合高分散性配方,可以在保持高切削率的同時不易對研磨材質產生劃傷。 主要應用于藍寶石襯底的研磨、LED芯片的背部減薄、光學晶體以及硬盤磁頭等的研磨和拋光。
產品類型 硅材料 拋光液 藍寶石 拋光液 砷化鎵 拋光液 鈮酸鋰 拋光液 鍺拋光液 集成電路多次銅布線拋光液 集成電路阻擋層拋光液
氧化硅拋光液是以高純度硅粉為原料,經特殊工藝生產的一種高純度低金屬離子型拋光產品。廣泛用于多種材料納米級的高平坦化拋光。如:硅片、化合物晶體、精密光學器件、寶石等的拋光加工。
潤滑作用。主要是指研磨拋光液滲入工件以及磨粒切屑之間所形成的潤滑膜,這層膜能夠減輕摩擦,使砂輪耐用度增加,有效的防止工件表面粗糙度出現惡化。
拋光:工件通過了粗拋、精拋工藝后,進入拋光工序;也是終實現光學表面層實現的后一個部分,前提下前兩者必須要為后一步拋光做好準備,使得在整個拋光過程當中,盡量去除粗拋與精拋所留下的破環(huán)層,實現光學表面理想鏡面效果。
一些制樣技術對金剛石拋光劑的要求更高, 并且對一種特殊的制樣方法確切知道需要何種金剛石拋光劑是非常必要的。 對試樣的要求高意味對研磨劑要進行臨界選擇(多晶的金剛石, P) 但是只要一個可接受的試樣,使用價格便宜的金剛石產品(單晶金剛石, M)就足夠了。制樣時選擇金剛石產品,制樣的質量、時間和成本都必須綜合起來考慮。
金剛石晶粒大小的分布與各晶粒大小之間的差距應盡可能的小,這是非常重要的。 因為如果在拋光劑中存在單個的金剛石大晶粒,那么試樣表面由它們形成的劃痕將無法在后道工序中消除。 反之,晶粒太小又不利于試樣的磨削。因此,控制粒度分布在金剛石產品的生產中是非常重要的。