潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。

空氣中的微生物無處不在，并常附著在塵埃粒子上，隨著塵埃、霧滴及皮屑、毛發(fā)等傳播?？諝庵械膲m埃粒子越多，附著在塵埃粒子上的機(jī)會越大，傳播的機(jī)會也增加。同樣，病毒也會附著在塵粒上并進(jìn)行傳播。因此，控制空氣中塵粒的數(shù)量就可以控制附著在其上的微生物。

各種微生物的大小可如圖1-1所示。大部分微生物在于0.3μm。病毒是小的微生物,大約在0.005μm以上，其次是立克次氏體。種類很多，多數(shù) 在空氣中以群體形式存在。常見的大小為5.5～6.5μm，為3.1～3.9μm，采用空氣過濾器(0.5μm，過濾效率≥99.9%)基本 上可將它們除去。

SMT車間凈潔無塵車間溫濕度標(biāo)準(zhǔn):

SMT車間對溫度和濕度有明確的要求，關(guān)于其對于SMT的重要性，在這里稍作解釋：

首先主要是為了錫膏能工作在一個(gè)較好的環(huán)境 ，溫度會影響錫膏的活性，對于里面所添加的助焊劑的相關(guān)溶劑的活性有一定的影響。溫度高會增加其的活性，終影響絲印貼裝及回流的效果。容易出現(xiàn)虛焊，焊點(diǎn)不光澤等現(xiàn)象。 濕度的大小回引起錫膏在空氣中吸入水氣的多少，如過吸如過多水氣，會使回流時(shí)產(chǎn)生氣空，飛漸，連焊等現(xiàn)象。

無菌室內(nèi)空氣置換稀釋污染系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)注意：潔凈空氣供應(yīng)的體積應(yīng)足以抵消空間中不斷產(chǎn)生的微粒數(shù)，以此維持工藝操作的基本條件要求；室內(nèi)空間供應(yīng)的空氣應(yīng)比普通維持條件下空氣更清潔；要求混合供應(yīng)的清潔空氣應(yīng)滿足去除房間內(nèi)含有微粒的空氣，以達(dá)到室內(nèi)空氣置換稀釋的作用。

微生物檢驗(yàn)用器材及場所必須進(jìn)行或處理，不同的對象采用不同的處理方法 1． 高壓蒸汽: 工作服、口罩、稀釋液等，置高壓鍋內(nèi)，一般采用121℃半小時(shí),當(dāng)然不同的培養(yǎng)基有不同的要求,應(yīng)分別處理 2． 火焰：接種針、接種環(huán)等可直接火焰 3． 高溫干燥： 各種玻璃器皿、注射器、吸管等，置于燥箱中160℃2小時(shí) 4． 一 般: 無菌室內(nèi)的凳、工作臺、試管架、天平、待檢物容器或包裝均無法進(jìn)行，必須用其他方法進(jìn)行處理，采用2%石炭酸或來蘇兒水溶液擦拭，工作人員的手也用此法進(jìn)行 5． 空氣的： 開啟紫外燈照射30—60分鐘 即可。