電子行業(yè)生產(chǎn)工藝過(guò)程產(chǎn)生的有毒有害氣體種類繁多，且量也大，所以需要的排風(fēng)量和新風(fēng)量也大。新排風(fēng)的節(jié)能措施也是行業(yè)特點(diǎn)之一，排放前要做處理，使排風(fēng)負(fù)荷環(huán)保要求。

電子行業(yè)生產(chǎn)工藝有抗靜電、抗微振的要求，并且大宗氣體和特種氣體種類多，對(duì)純度和潔凈度要求高：

1.電子制造廠萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài))：不應(yīng)大于65dB(A)

2.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。

3.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa

4.電子制造行業(yè)萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的值：

5.補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

6.保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。

空氣中的微生物無(wú)處不在，并常附著在塵埃粒子上，隨著塵埃、霧滴及皮屑、毛發(fā)等傳播。空氣中的塵埃粒子越多，附著在塵埃粒子上的機(jī)會(huì)越大，傳播的機(jī)會(huì)也增加。同樣，病毒也會(huì)附著在塵粒上并進(jìn)行傳播。因此，控制空氣中塵粒的數(shù)量就可以控制附著在其上的微生物。

各種微生物的大小可如圖1-1所示。大部分微生物在于0.3μm。病毒是小的微生物,大約在0.005μm以上，其次是立克次氏體。種類很多，多數(shù) 在空氣中以群體形式存在。常見(jiàn)的大小為5.5～6.5μm，為3.1～3.9μm，采用空氣過(guò)濾器(0.5μm，過(guò)濾效率≥99.9%)基本 上可將它們除去。

室內(nèi)空氣參數(shù)要求 ：

(1)溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對(duì)濕度為55+5%。

(2)新風(fēng)量大。由于這類車間內(nèi)，人員比較多，可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的值：非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮 空氣量≥40m3/h。

(3)送風(fēng)量大。為了滿足潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風(fēng)量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬(wàn)級(jí)，送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥25次/h);如果是十萬(wàn)級(jí)，送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥15次/h)。

1.無(wú)菌室應(yīng)設(shè)有無(wú)菌操作間和緩沖間，無(wú)菌操作間潔凈度應(yīng)達(dá)到10000級(jí)，室內(nèi)溫度保持在18-24℃，濕度保持在45-65%。超凈臺(tái)潔凈度應(yīng)達(dá)到100級(jí)。

2.無(wú)菌室應(yīng)保持清潔，嚴(yán)禁堆放雜物，以防污染。

3.嚴(yán)防一切器材和培養(yǎng)基污染，已污染者應(yīng)停止使用。

4.無(wú)菌室應(yīng)備有工作濃度的液，如5%的甲酚溶液，75%的酒精，0.1%的新潔爾滅溶液，等等。

參照《藥品衛(wèi)生檢驗(yàn)方法》 《中國(guó)藥品檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)范》中 (無(wú)菌檢查法)章節(jié) 中華人民共和國(guó)醫(yī)藥行業(yè)標(biāo)準(zhǔn) YY/T0188.6-1995《藥品檢驗(yàn)操作規(guī)程》