無(wú)塵無(wú)菌車間亦為車間既達(dá)到無(wú)塵效果，又達(dá)到無(wú)菌效果。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無(wú)塵室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。
在 FED-STD-2里面，無(wú)塵室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過(guò)25度，濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。
操作過(guò)程注意事項(xiàng)
1． 動(dòng)作要輕，不能太快，以免攪動(dòng)空氣增加污染；玻璃器皿也應(yīng)輕取輕放，以免破損污染環(huán)境
2． 操作應(yīng)在近火焰區(qū)進(jìn)行。
3． 接種環(huán)、接種針等金屬器材使用前后均需灼燒，灼燒時(shí)先通過(guò)內(nèi)焰，使殘物烘干后再灼燒
4． 使用吸管時(shí)，切勿用嘴直接吸、吹吸管，而必須用洗耳球操作。
5． 觀察平板時(shí)不好 開蓋，如欲沾取菌落檢查時(shí)，必需靠近火焰區(qū)操作，平皿蓋也不能 大開，而是上下蓋適當(dāng)開縫。
6． 進(jìn)行可疑致病菌涂片染色時(shí)，應(yīng)使用夾子夾持玻片，切勿用手 直接拿玻片，以免造成污染，用過(guò)的玻片也應(yīng)置于液中浸泡，然后再洗滌。
7． 工作結(jié)束，收拾好工作臺(tái)上的樣品及器材，后用液擦拭工作臺(tái)。
無(wú)菌室內(nèi)空氣置換稀釋污染系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)注意：潔凈空氣供應(yīng)的體積應(yīng)足以抵消空間中不斷產(chǎn)生的微粒數(shù)，以此維持工藝操作的基本條件要求；室內(nèi)空間供應(yīng)的空氣應(yīng)比普通維持條件下空氣更清潔；要求混合供應(yīng)的清潔空氣應(yīng)滿足去除房間內(nèi)含有微粒的空氣，以達(dá)到室內(nèi)空氣置換稀釋的作用。
微生物檢驗(yàn)用器材及場(chǎng)所必須進(jìn)行或處理，不同的對(duì)象采用不同的處理方法 1． 高壓蒸汽: 工作服、口罩、稀釋液等，置高壓鍋內(nèi)，一般采用121℃半小時(shí),當(dāng)然不同的培養(yǎng)基有不同的要求,應(yīng)分別處理 2． 火焰：接種針、接種環(huán)等可直接火焰 3． 高溫干燥： 各種玻璃器皿、注射器、吸管等，置于燥箱中160℃2小時(shí) 4． 一 般: 無(wú)菌室內(nèi)的凳、工作臺(tái)、試管架、天平、待檢物容器或包裝均無(wú)法進(jìn)行，必須用其他方法進(jìn)行處理，采用2%石炭酸或來(lái)蘇兒水溶液擦拭，工作人員的手也用此法進(jìn)行 5． 空氣的： 開啟紫外燈照射30—60分鐘 即可。