半導(dǎo)體分立器件:爐管清洗機(jī)、RCA清洗機(jī)、去膠臺(tái)、有機(jī)去膠清洗機(jī)、濺射前預(yù)清洗、鋁腐蝕臺(tái)、顯影臺(tái) 、CVD清洗臺(tái)、擴(kuò)散清洗機(jī)、金屬腐蝕臺(tái) 等;半導(dǎo)體集成電路:酸堿清洗臺(tái);
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