科研實驗專用三氧化二鈦靶材Ti2O3磁控濺射靶材電子束鍍膜蒸發(fā)料
產品介紹
三氧化二鈦是一種化學物質,化學式Ti?O?,分子量143.73,CAS號1344-54-3,性狀為紫色粉末,晶體結構為六方晶系。
產品參數
中文名三氧化二鈦 化學式Ti2O3
分子量143.73 熔 點2130 ℃
密 度4.486g/cm3
支持靶材定制,請?zhí)峁┌胁漠a品的元素、比例(重量比或原子比)、規(guī)格,我們會盡快為您報價!!
服務項目:靶材成份比例、規(guī)格、純度均可按需定制。科研單位貨到付款,質量保證,售后無憂!
產品附件:發(fā)貨時產品附帶裝箱單/質檢單/產品為真空包裝
適用儀器:多種型號磁控濺射、熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)設備
質量控制:嚴格控制生產工藝,采用輝光放電質譜法GDMS或ICP光譜法等多種檢測手段,分析雜質元素含量保證材料的高純度與細小晶粒度;可提供質檢報告。
加工流程:熔煉→提純→鍛造→機加工→檢測→包裝出庫
陶瓷化合物靶材本身質脆且導熱性差,連續(xù)長時間濺射易發(fā)生靶裂情況,綁定背靶后,可提高化合物靶材的導熱性能,提高靶材的使用壽命。我們強烈建議您,選購陶瓷化合物靶材一定要綁定銅背靶!
我公司采用高純銦作為焊料,銦焊厚度約為0.2mm,高純無氧銅作為背靶。
注意:高純銦的熔點約為156℃,靶材工作溫度超過熔點會導致銦熔化!綁定背靶不影響靶材的正常使用!
建議:陶瓷脆性靶材、燒結靶材,高功率下濺射易碎,建議濺射功率不超過3W/cm2。