在整個集成電子無塵車間中，電路的尺寸技術(shù)可以說是促進(jìn)凈化的關(guān)鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進(jìn)，芯片尺寸越小。然而，電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無塵車間中會成為廢品，因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。

在平時，工作人員除了需要定期進(jìn)行盆浴或淋浴外，還應(yīng)當(dāng)定期洗頭。保持身體的清潔，盡量減少死皮數(shù)量。同時，在每次進(jìn)入無塵車間之前，都應(yīng)該對手進(jìn)行徹底的清潔。平時看起來挺干凈的手，其實也是一大污染源，能夠?qū)⑽廴疚飶囊惶巶鞯搅硪惶?。在清洗的時候，尤其應(yīng)該注意指甲、指甲根部和手上的傷處。

在工作中，工作人員應(yīng)當(dāng)盡量避免或者減少接觸設(shè)備的產(chǎn)品的次數(shù)，如果可以，還是采取全自動的生產(chǎn)流程。如果一定要接觸的話，應(yīng)該先洗干凈手，并且戴上手套，防止對設(shè)備和產(chǎn)品造成污染。

對于要求比較高的無塵車間，還需要做無塵車間地面的防靜電處理。通過使用防靜電水磨石做面層，再通過鋪設(shè)靜電接地網(wǎng)來達(dá)到防靜電效果。如果無塵車間地面采用防靜電水泥砂漿，那么久需要添加靜電接地網(wǎng)來達(dá)到防靜電功能。一般來說，電子無塵車間對防靜電的要求會比較高。