電子無塵車間投資越大，質量水平越高，至于電子產品參與的人絡繹不絕。幾年后，電子無塵車間內的電子產品尺寸可達到0.5微米左右，整體電路存儲可達到更高的水平，因此，目前很多潔凈室的部件都用在了微電子上，建設和運營的資金都非常高。

無塵車間空氣凈化系統(tǒng)分為水平層流、垂直層流和紊流。氣流方式的選擇參照常規(guī)，潔凈度主要由單位時間換氣次數決定。因此，在確定凈化系統(tǒng)的技術參數之前，必須認真考慮無塵車間的工作性質和生產要求。

為達到潔凈水平，無塵車間的設置需要采取綜合措施，包括工藝布置、建筑平面、建筑結構、空氣凈化措施、維護管理等，其中空氣凈化措施是達到潔凈水平的根本保證。

由于無塵車間要保持相應級別的潔凈度，所用建造材料都應滿足一定的要求。無塵車間地面，要求平整、耐磨、易清洗、防靜電、不嚴重反光、美觀耐用。無塵車間地面材料的選用尤其關鍵，具體使用哪種材料，應結合無塵車間建設方的預算來確定。