凈化工程級(jí)別等級(jí),市場(chǎng)上常規(guī)凈化等級(jí)分為:十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)、三十萬(wàn)級(jí)等,級(jí)數(shù)越小潔凈度要求越高,則造價(jià)越高。
生產(chǎn)工藝單一,各室獨(dú)立,適用于改造工程,無(wú)塵車間工程中的車間位置分散,無(wú)塵車間單一,可實(shí)現(xiàn)多種氣流組織形式,但噪聲和振動(dòng)需加以控制,操作簡(jiǎn)單,維修量小,調(diào)節(jié)管理方便,無(wú)塵車間工程就會(huì)造價(jià)較高。
生產(chǎn)工藝連續(xù),各室無(wú)獨(dú)立性,適用于大規(guī)模的生產(chǎn)工藝,無(wú)塵車間面積大,間數(shù)多,位置較集中,但各室潔凈度不宜相差太大,通過(guò)所選送回風(fēng)口的形式及不同的布置,可實(shí)現(xiàn)多種氣流組織方式,統(tǒng)一送、回風(fēng),管理集中,系統(tǒng)管理復(fù)雜,各無(wú)塵車間不可單獨(dú)調(diào)節(jié),維修量小,無(wú)塵車間工程的造價(jià)就會(huì)較低。
凈化車間每立方米把小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,便達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前運(yùn)用于芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)比較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制于每立方米1000個(gè)之內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別凈化車間。
應(yīng)保證電子工廠潔凈室的人員清潔工作??諝饬茉¢g應(yīng)安裝在潔凈室的入口。單人空氣淋浴間應(yīng)由較多人數(shù)的30人建立。空氣淋浴間的進(jìn)出不得同時(shí)進(jìn)行。打開時(shí),應(yīng)選擇聯(lián)鎖控制措施。如果是潔凈室中設(shè)備和物料的出入口,則應(yīng)獨(dú)立設(shè)置,還應(yīng)設(shè)置貨物淋浴間。如果物料或產(chǎn)品的轉(zhuǎn)移需要在不同級(jí)別的潔凈室中進(jìn)行,則應(yīng)建立轉(zhuǎn)移窗口。