國(guó)內(nèi)外關(guān)于ITO廢靶材的資源化利用和無害化處置技術(shù)的相關(guān)研究較多，主要可分為濕法、火法以及火濕法聯(lián)合三大類。濕法類主要的提取方式為鹽酸浸出，浸出液經(jīng)氧化法或使用鋁粉、鋅粉等分離銦錫后再置換得到粗銦，該方法的缺點(diǎn)是銦錫分離率低，氧化錫渣等中含銦約1%～2%，銦直收率﹤97%。

火濕法聯(lián)合類的主要工藝為以氫氣還原得到銦錫合金，合金再通過精細(xì)化的電解精煉進(jìn)行銦錫的分離等；該技術(shù)的缺點(diǎn)是錫主要存在于陽極泥中，銦電解過程中的陽極殘級(jí)率高，銦的回收率﹤98%。

為了進(jìn)一步極限化的提高銦錫的收率，進(jìn)一步簡(jiǎn)化工序，提升生產(chǎn)效率，減少環(huán)境污染，此次在基于氯化錫具有相對(duì)較低沸點(diǎn)的特性的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)了“鹽酸浸出—蒸餾分離銦錫—鋅或鋁置換銦—蒸出錫提純制五水氯化錫/蒸出酸回用”的技術(shù)方案，并進(jìn)行了系統(tǒng)的試驗(yàn)驗(yàn)證。

2017年6月，工信部發(fā)布《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄（2017年版）》，提出了平板顯示用ITO靶材、平板顯示用高純鉬靶材等重點(diǎn)新材料的應(yīng)用領(lǐng)域。伴隨ITO技術(shù)和產(chǎn)能突破瓶頸，國(guó)產(chǎn)ITO靶材憑借成本和性價(jià)比優(yōu)勢(shì)將逐步占領(lǐng)市場(chǎng)。