國(guó)內(nèi)外關(guān)于ITO廢靶材的資源化利用和無(wú)害化處置技術(shù)的相關(guān)研究較多，主要可分為濕法、火法以及火濕法聯(lián)合三大類。濕法類主要的提取方式為鹽酸浸出，浸出液經(jīng)氧化法或使用鋁粉、鋅粉等分離銦錫后再置換得到粗銦，該方法的缺點(diǎn)是銦錫分離率低，氧化錫渣等中含銦約1%～2%，銦直收率﹤97%。

采用蒸餾法進(jìn)行銦錫的分離及資源化試驗(yàn)，在油浴溫度132 ℃左右，蒸餾5 h左右，可得到滿意的銦、錫分離效果及理想的銦錫回收率；本試驗(yàn)工藝可得到99.97%純度的金屬銦產(chǎn)品的同時(shí)，還可繼續(xù)生產(chǎn)高品質(zhì)的副產(chǎn)品五水氯化錫。蒸餾過(guò)程初期蒸出的鹽酸經(jīng)冷凝回收后回用至鹽酸浸出工序，節(jié)約酸堿中和成本的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了清潔生產(chǎn)。

中國(guó)已經(jīng)是世界的ITO靶材需求國(guó)，在全球的比重將從2016年的40%提高到2019年的49%，則中國(guó)對(duì)ITO靶材的需求量從2016年的542噸增長(zhǎng)到2019年的823噸。

全球銦資源的分布也極不平衡，我國(guó)是世界上銦資源豐富的國(guó)家，已探明儲(chǔ)量占比達(dá)72.7%。同時(shí)，受進(jìn)口靶材免稅政策即將到期的影響，未來(lái)進(jìn)口靶材的成本有可能會(huì)大大增加，從而使國(guó)產(chǎn)ITO靶材供應(yīng)成本優(yōu)勢(shì)更加顯著。