半導(dǎo)體主要成分：半導(dǎo)體行業(yè)廢氣主要為有機廢氣和酸堿廢氣兩類。有機類有：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿類有：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。

半導(dǎo)體酸堿性廢氣：

工藝流程： 酸/堿性廢氣→酸/堿式洗滌塔→離心風(fēng)機→煙囪（達標(biāo)排放）

半導(dǎo)體有機類廢氣VOCs

收集廢氣→沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置→TO直燃式焚燒爐

同時整套裝置安q、可靠、無任何二次污染。

由于半導(dǎo)體行業(yè)對操作室清潔度要求，通常使用風(fēng)機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。

半導(dǎo)體酸堿廢氣凈化工藝方法