污染物微粒聚集在組件不適當的位置上可能會損害其功能或者使其徹底報廢。柴油噴射技術就是一個很好的例子。從1996年開始,在五年時間里這項技術性能迅速提高,結果是噴射壓力越來越高、噴嘴尺寸越做越小。高壓泵的壓力在2000巴以上,燃料通過直徑大約為100μm的孔注入燃燒室。在生產這類系統(tǒng)時只是保證不同的組件高度清潔是不夠的,組裝工藝也必須在高度清潔的環(huán)境下進行。
潔凈室要達到潔凈等級,必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現(xiàn)潔凈等級的根本保證。
一般情況下,凈化空調系統(tǒng)的能耗比一般空調系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負荷特點不同。就潔凈室,尤其是半導體工業(yè)潔凈室而言,其負荷特點是:由于排風量大造成新風量大,故新風處理所需冷量消耗大;送風量大,輸送動力消耗大,風機管道溫升高;生產設備的發(fā)熱量大,消耗冷量大。這三項負荷之和一般占總負荷的70%~95%。因此,凈化空調系統(tǒng)節(jié)能措施應從減少新風量(減少排風量);控制送風量(合理確定換氣次數);充分利用回風量;選擇低阻力率的空調和凈化設備和可變風量的風機等入手。
潔凈環(huán)境是為生產工藝服務的,潔凈室設計必須滿足生產工藝的環(huán)境要求,這是理所當然的。因此,在潔凈室設計時生產工藝對環(huán)境參數的要求應該實事求是,其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應該該高則高,該低則低,并非越高越好。在不影響生產工藝正常運行的前提下盡可能地降低參數要求,控制凈化面積,縮小高凈化級別潔凈區(qū)的范圍,嚴格控制100級和更高級別單向流潔凈區(qū)的面積。