1、進(jìn)入潔凈室之前,預(yù)先清潔儀器、人員以及零件;
2、用可控的多級壓力、溫度和濕度控制裝置密封建筑;
3、HEPA過濾;
4、增強(qiáng)工藝以減少顆粒/沉淀物的產(chǎn)生;
5、保護(hù)性外衣;
6、清潔;
7、雙門配置將相鄰的空間分開,包括運(yùn)送和接收區(qū)域。
在將關(guān)鍵空間設(shè)計(jì)為分級的潔凈室是合理的。
污染物微粒聚集在組件不適當(dāng)?shù)奈恢蒙峡赡軙?huì)損害其功能或者使其徹底報(bào)廢。柴油噴射技術(shù)就是一個(gè)很好的例子。從1996年開始,在五年時(shí)間里這項(xiàng)技術(shù)性能迅速提高,結(jié)果是噴射壓力越來越高、噴嘴尺寸越做越小。高壓泵的壓力在2000巴以上,燃料通過直徑大約為100μm的孔注入燃燒室。在生產(chǎn)這類系統(tǒng)時(shí)只是保證不同的組件高度清潔是不夠的,組裝工藝也必須在高度清潔的環(huán)境下進(jìn)行。
根據(jù)潔凈室的等級,合理選擇潔凈室的氣流分布流型,在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū);盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達(dá)工作區(qū);氣流的流動(dòng)有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風(fēng)口排走。
在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時(shí)盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起,把潔凈度要求高的工序設(shè)置在上風(fēng)側(cè),把產(chǎn)生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設(shè)備、容器盡可能放在潔凈區(qū)外,若必須放在潔凈區(qū)內(nèi)時(shí)應(yīng)盡量采取密閉措施以減少粉塵和廢氣的排放量。