所謂半導(dǎo)體電子潔凈車(chē)間，指的是潔凈度在10萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車(chē)間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。在絕大多數(shù)情況下，無(wú)塵車(chē)間運(yùn)行中風(fēng)速越低，過(guò)濾器的使用效果越好。

小粒徑粉塵的擴(kuò)散作用(布朗運(yùn)動(dòng))明顯，風(fēng)速低了，氣流在過(guò)濾材料中滯留的時(shí)間就長(zhǎng)一些，粉塵就有更多的機(jī)會(huì)撞擊障礙物，因此過(guò)濾效率就高。經(jīng)驗(yàn)表明，對(duì)于過(guò)濾器，風(fēng)速減少一半，粉塵的透過(guò)率會(huì)降低近一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率數(shù)值增加一個(gè)9)，風(fēng)速增加一倍，透過(guò)率會(huì)增加一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率降低一個(gè)9)。

經(jīng)測(cè)試分析，無(wú)塵室的微污染中80%是工作人員帶來(lái)的。當(dāng)工作人員進(jìn)出無(wú)塵室時(shí)塵埃有顯著增加，潔凈度立刻劣化。因此在工作人員進(jìn)入無(wú)塵室前要做好清潔擦拭等防塵動(dòng)作，且企業(yè)也要對(duì)工作人員進(jìn)行培訓(xùn)，并制定相應(yīng)的章程和制度等。

控制粉塵：建造電子無(wú)塵車(chē)間需要小化粉塵產(chǎn)生和積累的可能性。確保工作表面和設(shè)備是光滑、易清潔的，并采取措施減少粉塵揚(yáng)塵，如使用濕拖抹布、吸塵器等。

靜電消除：靜電是電子元件的一個(gè)主要問(wèn)題，因此必須采取措施消除靜電。使用防靜電地板和防靜電工作臺(tái)，并提供適當(dāng)?shù)撵o電消除設(shè)備，如離子風(fēng)槍、靜電消除器等。