所謂半導(dǎo)體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。在絕大多數(shù)情況下，無塵車間運(yùn)行中風(fēng)速越低，過濾器的使用效果越好。

小粒徑粉塵的擴(kuò)散作用(布朗運(yùn)動(dòng))明顯，風(fēng)速低了，氣流在過濾材料中滯留的時(shí)間就長(zhǎng)一些，粉塵就有更多的機(jī)會(huì)撞擊障礙物，因此過濾效率就高。經(jīng)驗(yàn)表明，對(duì)于過濾器，風(fēng)速減少一半，粉塵的透過率會(huì)降低近一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率數(shù)值增加一個(gè)9)，風(fēng)速增加一倍，透過率會(huì)增加一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率降低一個(gè)9)。

工作人員會(huì)帶入塵埃，那么所有的物料及設(shè)備也會(huì)影響無塵室的清潔。在物流和設(shè)備進(jìn)入時(shí)，要做到不將任何微粒或微生物帶入室內(nèi)。工作人員要在無塵室內(nèi)穿著潔凈衣服，用無塵紙擦拭物料和設(shè)備。搬運(yùn)時(shí)也要為地板鋪上已經(jīng)清潔過的不銹鋼板，防止破壞地板。

控制粉塵：建造電子無塵車間需要小化粉塵產(chǎn)生和積累的可能性。確保工作表面和設(shè)備是光滑、易清潔的，并采取措施減少粉塵揚(yáng)塵，如使用濕拖抹布、吸塵器等。

靜電消除：靜電是電子元件的一個(gè)主要問題，因此必須采取措施消除靜電。使用防靜電地板和防靜電工作臺(tái)，并提供適當(dāng)?shù)撵o電消除設(shè)備，如離子風(fēng)槍、靜電消除器等。