所謂半導體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級標準以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數計算。在絕大多數情況下，無塵車間運行中風速越低，過濾器的使用效果越好。

對于過濾器，氣流穿過濾材的速度一般在0.01～0.04m/s，在這個范圍內，過濾器的阻力與過濾風量呈正比關系。例如，一只484×484×220mm的過濾器，在額定風量1000m3/h下的初阻力為250Pa，如果使用中的實際風量是500m3/h，它的初阻力可降為125Pa。對于空調箱中的一般通風用過濾器，氣流穿過濾材的速度在0.13～1.0m/s范圍內，阻力與風量不再是線性關系，而是一條上揚的弧線，風量增加30%，阻力可能會增加50%，若過濾器阻力對你來說是個非常重要的參數，你就要向過濾器供應商索要阻力曲線。

經測試分析，無塵室的微污染中80%是工作人員帶來的。當工作人員進出無塵室時塵埃有顯著增加，潔凈度立刻劣化。因此在工作人員進入無塵室前要做好清潔擦拭等防塵動作，且企業(yè)也要對工作人員進行培訓，并制定相應的章程和制度等。

建造一個合格的電子無塵車間需要考慮多個因素，包括空氣過濾、控制粉塵、靜電消除、溫度和濕度控制以及合適的設備和工作流程?？諝膺^濾：安裝的空氣過濾系統(tǒng)是建造無塵車間的關鍵。使用HEPA（顆?？諝猓┻^濾器能夠有效地捕捉微小顆粒物，防止灰塵和污染物進入車間。