所謂半導(dǎo)體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級標(biāo)準(zhǔn)以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計算。在絕大多數(shù)情況下，無塵車間運行中風(fēng)速越低，過濾器的使用效果越好。

與擴散的效果類似，當(dāng)過濾材料帶靜電時(駐極體材料)，粉塵在濾材中滯留的時間越長，被材料吸附的可能性就越大。改變風(fēng)速，帶靜電材料的過濾效率會明顯改變。如果你知道材料上有靜電，進(jìn)行空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計時就應(yīng)該盡可能地減少通過每只過濾器的風(fēng)量。

一般生產(chǎn)車間一般以自身的加工工藝規(guī)定為標(biāo)準(zhǔn)，可是無塵室管理就顯著繁雜很多。依據(jù)自然環(huán)境清潔水平，按時拆換初、中效過濾器空氣過濾網(wǎng)，中效過濾器拆換時間隔一般為3-6個月，新風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)口的中效過濾器拆換清理間隔時間為30天上下。按時(3~6個月)檢驗各凈化室的工作壓力，一般潔凈區(qū)正壓力應(yīng)超過10pa，不然務(wù)必查驗初效、中效過濾器是不是阻塞，拆換、查驗送排煙風(fēng)機是不是運行正常。

建造一個合格的電子無塵車間需要考慮多個因素，包括空氣過濾、控制粉塵、靜電消除、溫度和濕度控制以及合適的設(shè)備和工作流程?？諝膺^濾：安裝的空氣過濾系統(tǒng)是建造無塵車間的關(guān)鍵。使用HEPA（顆?？諝猓┻^濾器能夠有效地捕捉微小顆粒物，防止灰塵和污染物進(jìn)入車間。