所謂半導(dǎo)體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。在絕大多數(shù)情況下，無塵車間運(yùn)行中風(fēng)速越低，過濾器的使用效果越好。

對(duì)于以慣性機(jī)理為主的大顆粒粉塵，根據(jù)傳統(tǒng)理論，風(fēng)速降低后，粉塵與纖維碰撞的幾率會(huì)減少，過濾效率會(huì)隨之降低。但在實(shí)踐中這種影響并不明顯，因?yàn)轱L(fēng)速小了，纖維對(duì)粉塵的反彈力也小了，粉塵更容易被粘住。

風(fēng)速高，阻力就大。如果過濾器的使用壽命以終阻力為依據(jù)，風(fēng)速高，過濾器的使用壽命就短。一般用戶很難實(shí)際觀察到風(fēng)速對(duì)過濾效率的影響，但觀察風(fēng)速對(duì)阻力的影響要容易得多。

一般生產(chǎn)車間一般以自身的加工工藝規(guī)定為標(biāo)準(zhǔn)，可是無塵室管理就顯著繁雜很多。依據(jù)自然環(huán)境清潔水平，按時(shí)拆換初、中效過濾器空氣過濾網(wǎng)，中效過濾器拆換時(shí)間隔一般為3-6個(gè)月，新風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)口的中效過濾器拆換清理間隔時(shí)間為30天上下。按時(shí)(3~6個(gè)月)檢驗(yàn)各凈化室的工作壓力，一般潔凈區(qū)正壓力應(yīng)超過10pa，不然務(wù)必查驗(yàn)初效、中效過濾器是不是阻塞，拆換、查驗(yàn)送排煙風(fēng)機(jī)是不是運(yùn)行正常。

經(jīng)測(cè)試分析，無塵室的微污染中80%是工作人員帶來的。當(dāng)工作人員進(jìn)出無塵室時(shí)塵埃有顯著增加，潔凈度立刻劣化。因此在工作人員進(jìn)入無塵室前要做好清潔擦拭等防塵動(dòng)作，且企業(yè)也要對(duì)工作人員進(jìn)行培訓(xùn)，并制定相應(yīng)的章程和制度等。