所謂半導(dǎo)體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級標(biāo)準(zhǔn)以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。在絕大多數(shù)情況下，無塵車間運(yùn)行中風(fēng)速越低，過濾器的使用效果越好。

小粒徑粉塵的擴(kuò)散作用(布朗運(yùn)動)明顯，風(fēng)速低了，氣流在過濾材料中滯留的時間就長一些，粉塵就有更多的機(jī)會撞擊障礙物，因此過濾效率就高。經(jīng)驗(yàn)表明，對于過濾器，風(fēng)速減少一半，粉塵的透過率會降低近一個數(shù)量級(效率數(shù)值增加一個9)，風(fēng)速增加一倍，透過率會增加一個數(shù)量級(效率降低一個9)。

對于過濾器，氣流穿過濾材的速度一般在0.01～0.04m/s，在這個范圍內(nèi)，過濾器的阻力與過濾風(fēng)量呈正比關(guān)系。例如，一只484×484×220mm的過濾器，在額定風(fēng)量1000m3/h下的初阻力為250Pa，如果使用中的實(shí)際風(fēng)量是500m3/h，它的初阻力可降為125Pa。對于空調(diào)箱中的一般通風(fēng)用過濾器，氣流穿過濾材的速度在0.13～1.0m/s范圍內(nèi)，阻力與風(fēng)量不再是線性關(guān)系，而是一條上揚(yáng)的弧線，風(fēng)量增加30%，阻力可能會增加50%，若過濾器阻力對你來說是個非常重要的參數(shù)，你就要向過濾器供應(yīng)商索要阻力曲線。

經(jīng)測試分析，無塵室的微污染中80%是工作人員帶來的。當(dāng)工作人員進(jìn)出無塵室時塵埃有顯著增加，潔凈度立刻劣化。因此在工作人員進(jìn)入無塵室前要做好清潔擦拭等防塵動作，且企業(yè)也要對工作人員進(jìn)行培訓(xùn)，并制定相應(yīng)的章程和制度等。