靜電除塵技術(shù)則可以通過靜電作用將空氣中帶電粒子去除,進一步提高空氣質(zhì)量。化學(xué)吸附技術(shù)則可以去除空氣中的有害氣體,例如甲醛、苯等有機物。這些技術(shù)的綜合應(yīng)用,可以確保車間內(nèi)的空氣干凈、清潔,符合生產(chǎn)要求。
噪音控制是其中的一項重要工作。電子生產(chǎn)過程中的噪音可能會對產(chǎn)品質(zhì)量和員工健康產(chǎn)生不良影響,因此需要采取措施進行噪音防護。此外,車間的照明、地面材料等也需要考慮,以提供良好的工作環(huán)境。
丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室(區(qū)),在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有火災(zāi)報警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報警探測系統(tǒng)后,其每個防火分區(qū)的允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。
凈化工程包括:亂流式、亂流式、復(fù)合式。
1、亂流式
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
2、層流式
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由過濾器進入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。
3、復(fù)合式
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。