除了凈化技術,電子廠凈化車間還需進行空氣流動管理。這一管理手段主要包括空氣流量控制、氣流方向控制和氣壓控制。空氣流量控制可以確保車間內的空氣量充足,滿足生產所需。氣流方向控制可以使空氣從潔凈區(qū)域流向不潔凈區(qū)域,有效避免交叉污染。氣壓控制則可以控制車間內的氣壓差,防止外界的空氣進入凈化區(qū)域??諝饬鲃庸芾淼暮侠響?,可以保持車間內空氣的潔凈狀況。
電子廠凈化車間在電子產品的生產中起到了至關重要的作用。通過凈化技術、空氣流動管理、溫濕度控制以及其他要素的綜合應用,可以確保車間內的空氣質量和環(huán)境符合要求,為電子產品的質量、可靠性和穩(wěn)定性提供可靠的保障。
微粒控制十分嚴格、要求控制0.02μm甚至更小粒徑ISO1級或更嚴格。
高純物質,包括高純水、高純氣體高純化學品的供應、輸送。
對微振控制十分嚴格、需制定切實可行的規(guī)定
對防靜電、電磁兼容等
大體量、多層單向流潔凈室,二層/三層布置數(shù)萬㎡
凈化工程包括:亂流式、亂流式、復合式。
1、亂流式
空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
2、層流式
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。
3、復合式
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。