大多數(shù)麥克風(fēng)都是駐極體電容器麥克風(fēng)（ECM），這種技術(shù)已經(jīng)有幾十年的歷史。ECM 的工作原理是利用具有電荷隔離的聚合材料振動(dòng)膜。與ECM的聚合材料振動(dòng)膜相比，MEMS麥克風(fēng)在不同溫度下的性能都十分穩(wěn)定，不會(huì)受溫度、振動(dòng)、濕度和時(shí)間的影響。由于耐熱性強(qiáng)，MEMS麥克風(fēng)可承受260℃的高溫回流焊，而性能不會(huì)有任何變化。由于組裝前后敏感性變化很小，這甚至可以節(jié)省制造過程中的音頻調(diào)試成本。目前，集成電路工藝正越來越廣泛地被應(yīng)用在傳感器及傳感器接口集成電路的制造中。這種微制造工藝具有、設(shè)計(jì)靈活、尺寸微型化、可與信號(hào)處理電路集成、低成本、大批量生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)。早期微型麥克風(fēng)是基于壓阻效應(yīng)的，有研究報(bào)道稱，制作了以(1×1)cm2、2μm厚的多晶硅膜為敏感膜的麥克風(fēng)。但是，在敏感膜內(nèi)不存在應(yīng)力的情況下，這樣大并且很薄的多晶硅膜的一階諧振頻率將低于300Hz。一階諧振頻率在這樣低的頻段范圍內(nèi)將導(dǎo)致麥克風(fēng)在聽覺頻率范圍內(nèi)的頻率響應(yīng)極不均勻(靈敏度的變化量大于40dB)，這對(duì)于麥克風(fēng)應(yīng)用是不可接受的。當(dāng)敏感膜內(nèi)存在張應(yīng)力時(shí)，其諧振頻率將增大，卻以犧牲靈敏度為代價(jià)。當(dāng)然，可以通過調(diào)整敏感膜的尺寸來獲得更高的一階諧振頻率，但是這仍將減小靈敏度。由此可見，壓阻式方案并不適于微型麥克風(fēng)的制造 。

電容型

電容式麥克風(fēng)有兩塊金屬極板，其中一塊表面涂有駐極體薄膜（多數(shù)為聚全氟乙丙烯）并將其接地，另一極板接在場(chǎng)效應(yīng)晶體管的柵極上，柵極與源極之間接有一個(gè)二極管。當(dāng)駐極體膜片本身帶有電荷，表面電荷地電量為Q，板極間地電容量為C，則在極頭上產(chǎn)生地電壓U=Q/C，當(dāng)受到振動(dòng)或受到氣流地摩擦?xí)r，由于振動(dòng)使兩極板間的距離改變，即電容C改變，而電量Q不變，就會(huì)引起電壓的變化，電壓變化的大小，反映了外界聲壓的強(qiáng)弱，這種電壓變化頻率反映了外界聲音的頻率，這就是駐極體傳聲器地工作原理

靈敏度

指麥克風(fēng)的開路電壓與作用在其膜片上的聲壓之比。實(shí)際上，麥克風(fēng)在聲場(chǎng)必然會(huì)引起聲場(chǎng)散射，所以靈敏度有兩種定義。一種是實(shí)際作用于膜片上的聲壓，稱為聲壓靈敏度，另一種是指麥克風(fēng)未置入聲場(chǎng)的聲場(chǎng)聲壓，稱為聲場(chǎng)靈敏度，其中聲場(chǎng)靈敏度又分為自由場(chǎng)靈敏度和擴(kuò)散場(chǎng)靈敏度。通常錄音用麥克風(fēng)給出聲壓靈敏度，測(cè)量用麥克風(fēng)因應(yīng)用類型給出聲壓或聲場(chǎng)靈敏度 。

靈敏度的單位是伏/帕（伏特/帕斯卡，V/Pa），通常使用靈敏度級(jí)來表示，參考靈敏度為1V/Pa

指向性：

話筒對(duì)于不同方向來的聲音靈敏度會(huì)有所不同，這稱為話筒的方向性。方向性與頻率有關(guān)，頻率越高則指向性越強(qiáng)。為了保證音質(zhì)，要求傳聲器在頻響范圍內(nèi)應(yīng)有比較一致的方向性。方向性用傳聲器正面0°方向和背面180°方向上的靈敏度的差值來表示，差值大于15dB者稱為強(qiáng)方向性話筒。產(chǎn)品說明書上常常給出主要頻率的方向極座標(biāo)響應(yīng)曲線圖案，一般的類型有：?jiǎn)畏较蛐浴靶男巍?；雙方向性“8字型”；和無方向性“圓形”；以及單指向性“超心型”。話筒靈敏度的方向性是選擇話筒的一項(xiàng)重要因素。有的話筒是單方向性的，有的則是全方向性的，也有一些是介于二者之間，其方向性是心形的。

全方向性話筒從各個(gè)方向拾取聲音的性能一致。當(dāng)說話者要來回走動(dòng)時(shí)采用此類話筒較為合適，但在環(huán)境噪聲大的條件下不宜采用。

心形指向話筒的靈敏度在水平方向呈心臟形，正面靈敏度側(cè)面稍小，背面小。這種話筒在多種擴(kuò)音系統(tǒng)中都有的表現(xiàn)。

單指向性話筒又稱為超心形指向性話筒，它的指向性比心形話筒更尖銳，正面靈敏度，其它方向靈敏度急劇衰減，特別適用于高噪音的環(huán)境。