大多數(shù)麥克風(fēng)都是駐極體電容器麥克風(fēng)(ECM),這種技術(shù)已經(jīng)有幾十年的歷史。ECM 的工作原理是利用具有電荷隔離的聚合材料振動(dòng)膜。與ECM的聚合材料振動(dòng)膜相比,MEMS麥克風(fēng)在不同溫度下的性能都十分穩(wěn)定,不會(huì)受溫度、振動(dòng)、濕度和時(shí)間的影響。由于耐熱性強(qiáng),MEMS麥克風(fēng)可承受260℃的高溫回流焊,而性能不會(huì)有任何變化。由于組裝前后敏感性變化很小,這甚至可以節(jié)省制造過程中的音頻調(diào)試成本。目前,集成電路工藝正越來越廣泛地被應(yīng)用在傳感器及傳感器接口集成電路的制造中。這種微制造工藝具有、設(shè)計(jì)靈活、尺寸微型化、可與信號處理電路集成、低成本、大批量生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)。早期微型麥克風(fēng)是基于壓阻效應(yīng)的,有研究報(bào)道稱,制作了以(1×1)cm2、2μm厚的多晶硅膜為敏感膜的麥克風(fēng)。但是,在敏感膜內(nèi)不存在應(yīng)力的情況下,這樣大并且很薄的多晶硅膜的一階諧振頻率將低于300Hz。一階諧振頻率在這樣低的頻段范圍內(nèi)將導(dǎo)致麥克風(fēng)在聽覺頻率范圍內(nèi)的頻率響應(yīng)極不均勻(靈敏度的變化量大于40dB),這對于麥克風(fēng)應(yīng)用是不可接受的。當(dāng)敏感膜內(nèi)存在張應(yīng)力時(shí),其諧振頻率將增大,卻以犧牲靈敏度為代價(jià)。當(dāng)然,可以通過調(diào)整敏感膜的尺寸來獲得更高的一階諧振頻率,但是這仍將減小靈敏度。由此可見,壓阻式方案并不適于微型麥克風(fēng)的制造 。
指向性
指向性也叫話筒的極性( polar pattern),它指話筒拾取來自不同方向的聲音的能力。一般分全向型、心型、超心型、8字型 [5] 。
全向型(Omnidirectional)也叫無方向型,它對各個(gè)方向的聲音有相同的靈敏度。心型(Cardioid)屬指向型話筒,前端靈敏度強(qiáng),后端靈敏度弱。超心型(Supercardioid)拾音區(qū)域比心型話筒更窄,但后端也會(huì)拾取聲音。8字型分別從前方和后方拾取聲音,但不從側(cè)面(90度角)拾音
聲音的采集角度
與透鏡的焦距有不同的變化一樣,麥克風(fēng)采集聲音的角度也是各不相同的。心形麥克風(fēng)可以從多個(gè)角度采集聲音。超心形麥克風(fēng)采集聲音的角度要相對小一些。槍形麥克風(fēng)采集聲音的角度和前兩者相比更窄。與鏡頭不同,麥克風(fēng)種類的臨界點(diǎn)并不精密。單人攝錄,也就是不和攝錄組進(jìn)行的拍攝,麥克風(fēng)選擇是小型的槍式麥克風(fēng) 。
速率成正比的電壓信號。動(dòng)態(tài)麥克風(fēng)采用永磁體為能量源,基于電感效應(yīng)將聲能轉(zhuǎn)換為電能 。
靈敏度:
在1KHz的頻率下,0.1Pa規(guī)定聲壓從話筒正面0°主軸上輸入時(shí),話筒的輸出端開路輸出電壓,單位為10mV/Pa。靈敏度與輸出阻抗有關(guān)。有時(shí)以分貝表示,并規(guī)定10V/Pa為0dB,因話筒輸出一般為毫伏級,所以,其靈敏度的分貝值始終為負(fù)值。