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    2025-05-15 02:00:01 394次瀏覽
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    ITO靶材的制備通常采用物相沉積(PVD)或化學氣相沉積(CVD)等方法。PVD法通過濺射技術(shù)將銦和錫等材料沉積在基材上,形成ITO薄膜。CVD法則是通過氣相反應(yīng)在基材表面生成ITO薄膜。這兩種方法都能夠生產(chǎn)高質(zhì)量、均勻的ITO薄膜,但PVD法更為常見。

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