隨著電子產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，對資源的節(jié)約和回收利用的要求也日益提高。ITO靶材中含有昂貴的銦元素，因此開發(fā)有效的回收方法變得至關(guān)重要。

化學回收法： 化學回收法主要是通過化學溶解或還原反應將ITO薄膜中的銦元素分離出來。這一過程通常包括酸溶解、絡合劑處理等步驟，終得到含銦的化合物。隨后，通過進一步的化學反應或電化學方法，可以提純得到高純度的銦。

物理回收法： 物理回收法主要通過物理手段分離ITO薄膜中的銦和錫。這包括磨碎、篩分、磁選等步驟。研究表明，物理回收法可以有效地提高銦的回收率，并且對環(huán)境友好。

電化學回收法： 電化學回收法利用電化學反應將ITO薄膜中的銦還原出來。這通常需要在合適的電解液中進行電解，通過施加電流來促使銦在電極上析出。這一方法對于回收銦具有潛力。