所需的外氣較多由于半導體工廠中，制程系統(tǒng)需使用大量的化學品和毒氣，這些化學品和毒氣所產(chǎn)生的揮發(fā)氣體和廢氣必須予以全數(shù)排除，故排氣量相當大，為維持凈室壓力比外面的大氣壓力大，此時所補充的空氣量亦隨之增加。

凈室是一種以合理的成本開發(fā)高質量軟件的基于理論、面向工作組的方法。凈室是基于理論的，因為堅實的理論基礎是任何工程學科所不可缺少的。再好的管理也代替不了理論基礎。凈室是面向工作組的，因為軟件是由人開發(fā)出來的，并且理論必須簡化到實際應用才能引導人的創(chuàng)造力和協(xié)作精神。凈室是針對經(jīng)濟實用軟件的生產(chǎn)的，因為在現(xiàn)實生活中，業(yè)務和資源的限制必須在軟件工程中予以滿足。后，凈室是針對高質量軟件的生產(chǎn)的，因為高質量改進管理，降低風險及成本，滿足用戶需求，提供競爭優(yōu)勢。

單層廠房在滿足一定建筑模數(shù)要求的基礎上視工藝需要確定其建筑寬度（跨度）、長度和高度。廠房的跨度B：一般為6、9、12、15、18、21、24、27、30、36m……。廠房的長度L：少則幾十米，多則數(shù)百米。廠房的高度H：低的一般5～6m，高的可達30～40m，甚至更高。廠房的跨度和高度是廠房照明設計中考慮的主要因素。

另外，根據(jù)工業(yè)生產(chǎn)連續(xù)性及工段間產(chǎn)品運輸?shù)男枰鄶?shù)工業(yè)廠房內設有吊車，其起重量輕的可為3～5t，大的可達數(shù)百噸（機械行業(yè)單臺吊車起重量可達800t）。因此，工廠照明通常采用裝在屋架上的燈具來實現(xiàn)。

在一個建設場地內，確定各廠房設計方案時，宜使構配件的類型統(tǒng)一。

在技術經(jīng)濟合理的基礎上，廠房的體形應力求簡單，避免設置縱橫跨和多跨廠房中的高度差。

在編制廠房建筑構配件標準設計圖集時，應使用途相同的構配件具有限度的互換性。

廠房建筑設計除應符合本標準的有關規(guī)定外，還應符合現(xiàn)行有關國家標準的規(guī)定。