超小型真空探針臺(tái)：

可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測(cè)樣品的電學(xué)性能測(cè)試分析，如：半導(dǎo)體/微電子，電子，機(jī)電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機(jī)電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計(jì)/制造/測(cè)試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

超小型真空探針技術(shù)參數(shù)

真空腔體

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

上蓋開(kāi)啟

鉸鏈側(cè)開(kāi)

加熱臺(tái)材質(zhì)

304不銹鋼

內(nèi)腔體尺寸

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺(tái)尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺(tái)間距

75mm

加熱臺(tái)溫度

﹣196~350℃

加熱臺(tái)溫控誤差

±1℃

真空度

機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa

允許正壓

≤0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進(jìn)氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號(hào)接頭

SMA轉(zhuǎn)BNC X 4

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V

探針數(shù)量

4探針

探針材質(zhì)

鎢針

探針尖

10μm

探針移動(dòng)平臺(tái)

X軸移動(dòng)行程

30mm ±15mm

X軸控制精度

≤0.01mm

Y軸移動(dòng)行程

13mm ±12.5mm

Y軸控制精度

≤0.01mm

Z軸移動(dòng)行程

13mm ±12.5mm

Z軸控制精度

≤0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類(lèi)別

物鏡

物鏡倍數(shù)

0.7-4.5倍

工作間距

90mm

相機(jī)

sony 高清

像素

1920※1080像素

圖像接口

VGA

LED可調(diào)光源

有

顯示屏

8寸

放大倍數(shù)

19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm