叉指微電極因其微小的電極間距結(jié)構(gòu)，可用于各種小型化傳感器。對于傳統(tǒng)分析檢測，包括色譜法、光譜法、質(zhì)譜等方法，大多都需要昂貴的儀器和多種操作步驟，使得許多實際問題仍面臨困難。開發(fā)高靈敏度、低成本、小型化的傳感器尤為重要。本文綜述了叉指微電極的研究進(jìn)展，介紹了基于叉指微電極的傳感器在各領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用。
小型真空探針臺鄭科探KT-Z4019MRL4T是一款性高價比配置的真空高低溫探針臺。
高溫400℃低-196℃測試噪聲小于5E-13A可擴(kuò)展上下雙透視窗口用于光電測試可擴(kuò)展凹視鏡。公司致力于各類探針臺，（包括手動與自動探針臺、雙面探針臺、真空探針臺、）、顯微鏡成像、光電一體化的技術(shù)研發(fā)，擁有國內(nèi)專業(yè)的技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊，在探針臺電學(xué)量測方面擁有近十年的經(jīng)驗團(tuán)隊。
微電容單通道叉指電極探針臺
微電容單通道叉指電極探針臺KT-Z4019MRL4T
真空腔體
類型
高溫型室溫到400℃
高低溫型室溫到400℃ 室溫到-196℃
腔體材質(zhì)
304不銹鋼 6061鋁合金可選
腔體內(nèi)尺寸
127mmX57mmX20mm
腔體外尺寸
150mmX80mmX32mm
腔體重量
不銹鋼材質(zhì)約1.5KG 鋁合金材質(zhì)約0.5KG
腔體上視窗尺寸
Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
腔體抽氣口
KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體真空測量口
KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體進(jìn)氣口
6mm快擰或 6mm快插
腔體冷卻方式
腔體水冷+上蓋氣冷
腔體水冷接口
腔體正壓
≤0.05MPa
腔體真空度
機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺
樣品臺材質(zhì)
不銹鋼 銀銅合金 純銀塊
銀銅合金 純銀塊
樣品臺尺寸
26x26mm
樣品臺加熱方式
電阻加熱
電阻加熱液氮制冷
樣品臺-視窗距離
11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
樣品臺測溫傳感器
PT100型熱電阻
樣品臺溫度
室溫到400℃
室溫到400℃ 室溫到-196℃
樣品臺測溫誤差
±0.5℃
樣品臺升溫速率
高溫100℃/min 值 低溫7℃/min
溫控儀
溫度顯示
7寸人機(jī)界面
溫控類型
標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定
溫度分辨率
0.1℃
溫控精度
±0.5℃
溫度信號輸入類型
PT100 （可選K S B型熱電偶）
溫控輸出
直流線性電源加熱
直流線性電源加熱+液氮流速控制器
輔助功能
溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口
溫控器尺寸
32cmX170cmX380cm
溫控器重量
約5.6KG