真空爐用于真空條件下集成電路、電力電子器件生產線對所生產產品進行燒結、合金、退火、焊接等工藝處理。具有控溫精度高,降溫速度快等特點。
真空爐技術指標:
石英管真空室:1—3室
真空度:1Pa,加擴散泵為5x10-3Pa
工作溫度: <1300℃
控溫精度: ±1℃
等溫區(qū)長度:根據工藝要求
口徑:Φ80mm~Φ280mm
控制方式:程控、微控
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