高純氬是一種純度的氬氣(Ar),通常純度在99.999%(5N)及以上,廣泛應(yīng)用于對氣體純度要求嚴(yán)格的領(lǐng)域。以下是關(guān)于高純氬的詳細(xì)介紹:
1. 基本性質(zhì)
化學(xué)符號(hào):Ar
原子序數(shù):18
狀態(tài):無色、無味、的惰性氣體。
密度:比空氣重(密度約1.784 g/L,標(biāo)準(zhǔn)條件下)。
沸點(diǎn):-185.8°C(87.3 K)。
化學(xué)惰性:幾乎不與其他物質(zhì)反應(yīng),穩(wěn)定性極強(qiáng)。
2. 純度等級(jí)
普通氬氣:純度99.99%(4N),用于一般工業(yè)用途。
高純氬:純度≥99.999%(5N),雜質(zhì)(如O?、N?、H?O、CO?等)含量極低。
超高純氬:純度≥99.9999%(6N),用于半導(dǎo)體、精密分析等。
3. 生產(chǎn)方法
空氣分離法:通過低溫精餾液態(tài)空氣提取氬氣,再經(jīng)吸附、催化脫氧等工藝提純。
純化技術(shù):采用分子篩、鈀催化劑、低溫吸附等方法進(jìn)一步去除雜質(zhì)。
4. 主要應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造:用于晶圓加工、刻蝕、化學(xué)氣相沉積(CVD)等,防止材料氧化。
光伏產(chǎn)業(yè):硅片生產(chǎn)中的保護(hù)氣。
分析儀器:作為ICP-MS(電感耦合等離子體質(zhì)譜)、GC(氣相色譜)的載氣。
焊接保護(hù):TIG焊、MIG焊中防止金屬熔池氧化(尤其不銹鋼、鋁合金)。
照明工業(yè):填充節(jié)能燈、霓虹燈等。
科研領(lǐng)域:超導(dǎo)體研究、激光技術(shù)等。
5. 儲(chǔ)存與運(yùn)輸
儲(chǔ)存方式:高壓鋼瓶(通常為灰色,標(biāo)有“氬氣”字樣),常溫下保存。
運(yùn)輸規(guī)范:需符合危險(xiǎn)化學(xué)品運(yùn)輸標(biāo)準(zhǔn),避免撞擊、高溫。
6. 注意事項(xiàng)
窒息風(fēng)險(xiǎn):高濃度氬氣會(huì)置換空氣,導(dǎo)致缺氧,需在通風(fēng)環(huán)境中使用。
壓力風(fēng)險(xiǎn):高壓鋼瓶需防泄漏,避免直接接觸閥門。
惰性特性:雖不燃不爆,但可能加劇其他物質(zhì)的燃燒(如鎂、鈦等)。