顯示領域:廣泛應用于液晶顯示器(LCD)、有機發(fā)光二極管顯示器(OLED)等顯示器件的制造,用于形成透明導電薄膜,提高顯示器的性能和質(zhì)量。
光學領域:用于制造反射率與銀鏡一樣高但不會褪色的鏡,還可用于制造其他光學器件,如濾光片、光通信器件等。
其他領域:可用于制造低熔點合金,如 24%銦和 76%鎵的合金在室溫下為液態(tài),此外,還可用于制造整流器、熱敏電阻和光電導體等電氣組件。
. 光通信器件
應用:在光纖連接器、光調(diào)制器中作為鍍膜材料,提升光學元件的信號傳輸效率和穩(wěn)定性。
場景:數(shù)據(jù)中心高速光模塊、5G 前傳網(wǎng)絡的光器件制造。
濺射時間與沉積厚度
厚度監(jiān)控:使用石英晶體微天平(QCM)實時監(jiān)測薄膜沉積速率,結(jié)合靶材消耗速率(約 0.1~0.5 μm/min,與功率相關),控制濺射時間。
靶材利用率:避免過度濺射導致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 時需及時更換),通常平面靶材利用率約 30%~40%,旋轉(zhuǎn)靶可提升至 60% 以上。